[發(fā)明專利]ITO薄膜的制備方法

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201711341683.7
• 申請(qǐng)日: 2017-12-14
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN108048796A
• 公開(kāi)（公告）日: 2018-05-18
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 崔鴿;洪承健;何永才;董剛強(qiáng);郁操;徐希翔;李沅民
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 君泰創(chuàng)新（北京）科技有限公司
• 主分類號(hào): C23C14/08
• 分類號(hào): C23C14/08;C23C14/35
• 代理公司: 北京維澳專利代理有限公司 11252
• 代理人: 周放;解立艷

本發(fā)明公開(kāi)了一種ITO薄膜的制備方法，其包括向工藝腔室中通入水汽、氬氣和氧氣；通過(guò)磁控濺射工藝形成ITO薄膜。本發(fā)明提供的ITO薄膜的制備方法，通過(guò)在ITO薄膜制備過(guò)程中引入水汽，提高了ITO薄膜有效透過(guò)率、遷移率等電學(xué)性能和光學(xué)性能，同時(shí)增加了使用該ITO薄膜的異質(zhì)結(jié)太陽(yáng)能電池的短路電流，提升了電池的光電轉(zhuǎn)化效率。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及一種太陽(yáng)能電池技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種ITO薄膜的制備方法。

背景技術(shù)

氧化銦錫薄膜(ITO)由于具有低電阻率、高可見(jiàn)光透過(guò)率等優(yōu)良的物理特性，被廣泛應(yīng)用于HJT太陽(yáng)能電池的透明導(dǎo)電薄膜層。ITO薄膜的光學(xué)和電學(xué)性能的好壞，直接關(guān)系著HJT太陽(yáng)能電池的短路電流，進(jìn)而影響著電池的轉(zhuǎn)換效率。在現(xiàn)有技術(shù)中，一般通過(guò)磁控濺射的方式制備ITO薄膜，在制備過(guò)程中通常要向工藝腔室中通入氧氣和氬氣，但通過(guò)這種方式沉積出的ITO的短路電流較弱，電池的光電轉(zhuǎn)化效率較低。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明的目的是提供一種ITO薄膜的制備方法，以解決上述現(xiàn)有技術(shù)中的問(wèn)題，提高短路電流，提升電池的光電轉(zhuǎn)化效率。

本發(fā)明提供了一種ITO薄膜的制備方法，其中，制備步驟包括：

向工藝腔室中通入水汽、氬氣和氧氣，并通過(guò)磁控濺射工藝形成ITO薄膜。

如上所述的ITO薄膜的制備方法，其中，優(yōu)選的是，在制備ITO薄膜的過(guò)程中，控制通入水汽的量保持恒定。

如上所述的ITO薄膜的制備方法，其中，優(yōu)選的是，在制備ITO薄膜的過(guò)程中，控制通入水汽的量隨時(shí)間變化。

如上所述的ITO薄膜的制備方法，其中，優(yōu)選的是，通入的水汽的量隨時(shí)間的增長(zhǎng)而遞減。

如上所述的ITO薄膜的制備方法，其中，優(yōu)選的是，通入的水汽的量在預(yù)設(shè)的水汽分壓范圍值內(nèi)遞減。

如上所述的ITO薄膜的制備方法，其中，優(yōu)選的是，所述預(yù)設(shè)的水汽分壓范圍值為6×10-3Pa～2×10-3Pa。

如上所述的ITO薄膜的制備方法，其中，優(yōu)選的是，向工藝腔室中通入水汽、氬氣和氧氣具體包括：

向工藝腔室中通入恒定量的氧氣和氬氣，且氧氣的量和氬氣的量之間具有設(shè)定的比例關(guān)系；

向工藝腔室中通入水汽，通入水汽的量隨時(shí)間的增長(zhǎng)而遞減。

如上所述的ITO薄膜的制備方法，其中，優(yōu)選的是，氧氣的量和氬氣的量之間的比例大于0且小于等于1/70。

如上所述的ITO薄膜的制備方法，其中，優(yōu)選的是，用于制備所述ITO薄膜的工藝腔室的真空度為5×10-4Pa，制程功率為2kW～8kW，沉積速率為2nm/s～5nm/s。

本發(fā)明提供的ITO薄膜的制備方法，通過(guò)在ITO薄膜制備過(guò)程中引入水汽，提高了ITO薄膜有效透過(guò)率、遷移率等電學(xué)性能和光學(xué)性能，同時(shí)增加了使用此ITO薄膜的異質(zhì)結(jié)太陽(yáng)能電池的短路電流，提升了電池的光電轉(zhuǎn)化效率。

附圖說(shuō)明

下面結(jié)合附圖對(duì)本發(fā)明的具體實(shí)施方式作進(jìn)一步詳細(xì)的說(shuō)明。

圖1為本發(fā)明實(shí)施例提供的ITO薄膜的制備方法的流程圖；

圖2為本發(fā)明實(shí)施例提供的ITO薄膜的有效透過(guò)率圖譜；

圖3為水汽分壓隨時(shí)間變化的變化曲線。

具體實(shí)施方式