[發(fā)明專利]一種大尺寸、高性能六硼化鑭單晶的制備方法有效
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 201711338440.8 | 申請(qǐng)日: | 2017-12-14 |
| 公開(公告)號(hào): | CN108048907B | 公開(公告)日: | 2020-08-07 |
| 發(fā)明(設(shè)計(jì))人: | 張久興;楊新宇;王衍;趙晶晶;李志 | 申請(qǐng)(專利權(quán))人: | 合肥工業(yè)大學(xué) |
| 主分類號(hào): | C30B29/10 | 分類號(hào): | C30B29/10;C30B13/00 |
| 代理公司: | 安徽省合肥新安專利代理有限責(zé)任公司 34101 | 代理人: | 盧敏 |
| 地址: | 230009 安*** | 國(guó)省代碼: | 安徽;34 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關(guān)鍵詞: | 一種 尺寸 性能 六硼化鑭單晶 制備 方法 | ||
本發(fā)明公開了一種大尺寸、高性能六硼化鑭單晶的制備方法,其是結(jié)合放電等離子燒結(jié)技術(shù)與光學(xué)區(qū)域熔煉技術(shù),首先以較快的生長(zhǎng)速率制得區(qū)熔多晶體,再以單晶為籽晶,以較慢的生長(zhǎng)速率逐步制得直徑均勻且尺寸≥10mm的六硼化鑭單晶體。本發(fā)明制備的六硼化鑭單晶體的直徑大于現(xiàn)有所有文獻(xiàn)的報(bào)道,且單晶體的質(zhì)量高、性能好,為單晶體的進(jìn)一步工程化應(yīng)用奠定了基礎(chǔ)。
技術(shù)領(lǐng)域
本發(fā)明屬于陰極材料制備技術(shù)領(lǐng)域,具體涉及一種六硼化鑭單晶的制備方法。
背景技術(shù)
六硼化鑭(LaB6)具有高亮度、低功函數(shù)、低蒸發(fā)率、強(qiáng)的耐離子轟擊、大的發(fā)射電流密度,可作為空心陰極中的核心熱發(fā)射材料,在高能加速器、等離子體源、掃描電鏡、電子束曝光機(jī)等大型精密裝備領(lǐng)域具有非常廣闊的應(yīng)用前景。經(jīng)過半個(gè)多世紀(jì)的發(fā)展,對(duì)六硼化鑭的結(jié)構(gòu)、物理化學(xué)特性及相關(guān)陰極進(jìn)行了廣泛而深入的研究,也形成多種制備技術(shù),有燒結(jié)技術(shù)、化學(xué)氣相沉積、鋁溶劑法及區(qū)域熔煉技術(shù)。燒結(jié)技術(shù)主要用于制備大尺寸多晶塊體樣品,電流密度比較小;化學(xué)氣相沉積技術(shù)主要用于六硼化鑭納米線及薄膜的制備;鋁溶劑法難以制備高純度、大尺寸的單晶;區(qū)域熔煉技術(shù)利用表面張力克服熔體重力,保持熔區(qū)平衡,而無需坩堝,是制備高純度、高質(zhì)量、大尺寸塊體單晶最佳的方法,目前主要有兩類具體制備方法:
1、感應(yīng)加熱區(qū)域熔煉法:文獻(xiàn)“T.Niemyski,E.Kierzek-pecold,Crystallizationof Lanthanum Hexaboride[J].Journal of Crystal Growth,1968,3:162-165.”采用感應(yīng)加熱區(qū)熔法制備了六硼化鑭單晶,所得單晶直徑5-6mm。
2、光學(xué)區(qū)域熔煉法:文獻(xiàn)“包黎紅,張久興,周身林,張寧,懸浮區(qū)域熔煉法制備LaB6單晶體與發(fā)射性能研究[J]。物理學(xué)報(bào),2011,60:106501(1-7)”采用光學(xué)區(qū)域熔煉法制備了六硼化鑭單晶,所得單晶直徑6mm。光學(xué)區(qū)域熔煉技術(shù)相比感應(yīng)加熱區(qū)域熔煉法技術(shù),具有更高的加熱效率,從而縮短了整個(gè)單晶體制備周期,降低了成本。
隨著深空探測(cè)和大功率器件的發(fā)展,對(duì)器件高承載和長(zhǎng)壽命提出了更高的要求,為滿足發(fā)展需要必須研制大發(fā)射電流和長(zhǎng)壽命的陰極材料,因此制備大尺寸(直徑≥10mm)、高性能六硼化鑭單晶變得非常重要,而由于六硼化鑭具有高熔點(diǎn)(2715℃),目前沒有關(guān)于制備大尺寸、高性能六硼化鑭的報(bào)道。
發(fā)明內(nèi)容
為解決現(xiàn)有六硼化鑭單晶樣品尺寸小的問題,本發(fā)明旨在提供一種大尺寸、高性能六硼化鑭單晶的制備方法。
本發(fā)明為實(shí)現(xiàn)發(fā)明目的,采用如下技術(shù)方案:
本發(fā)明結(jié)合放電等離子燒結(jié)技術(shù)與光學(xué)區(qū)域熔煉技術(shù)制備大尺寸、高性能六硼化鑭單晶的方法,其特征在于,包括如下步驟:
第1步,多晶塊體制備
將純度不低于99.9%的六硼化鑭粉末在Ar氣氛中球磨不少于2h,使得粉末粒徑≤2μm;然后將球磨后的粉末裝入石墨模具中,將所述的石墨模具置于放電等離子燒結(jié)爐中(LABOX-350),在真空條件下進(jìn)行燒結(jié),獲得六硼化鑭燒結(jié)多晶棒;
所述燒結(jié)的工藝參數(shù)設(shè)置為:升溫速率100-300℃/min,壓力30-50MPa,燒結(jié)溫度為1300-1800℃,保溫時(shí)間為1-15min;保溫結(jié)束后,樣品隨爐冷卻至室溫;
第2步,大尺寸籽晶制備
(21)將第1步制得的六硼化鑭燒結(jié)多晶棒進(jìn)行線切割,獲得若干直徑為6mm、7mm、9mm和11mm的六硼化鑭燒結(jié)多晶棒;
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