[發(fā)明專(zhuān)利]一種MWT電池激光開(kāi)孔及除渣方法及設(shè)備

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• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201711333963.3
• 申請(qǐng)日: 2017-12-11
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN108568606A
• 公開(kāi)（公告）日: 2018-09-25
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 李志剛;余建
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 武漢帝爾激光科技股份有限公司
• 主分類(lèi)號(hào): B23K26/382
• 分類(lèi)號(hào): B23K26/382;B23K26/00;B23K26/70;H01L31/18;H01L31/04
• 代理公司: 北京海虹嘉誠(chéng)知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11129
• 代理人: 沈小川

1.一種MWT電池激光開(kāi)孔及除渣方法，包括以下步驟：步驟一、激光開(kāi)孔，開(kāi)孔方法為輪廓成型法；步驟二、激光除渣，一個(gè)開(kāi)孔加工完畢后，立即對(duì)開(kāi)孔外緣的圓環(huán)狀除渣區(qū)域進(jìn)行激光除渣，除渣區(qū)域的外圓和內(nèi)圓半徑之差為開(kāi)孔半徑的10～20％。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的MWT電池激光開(kāi)孔及除渣方法，其特征在于：所述激光開(kāi)孔的具體方法為，設(shè)置激光器的輸出功率、重復(fù)頻率、脈沖寬度，設(shè)置光斑直徑、離焦量和掃描速度，控制激光光斑以開(kāi)孔中心為圓心，以開(kāi)孔半徑減去光斑半徑為半徑的圓周上進(jìn)行掃描，掃描一周，計(jì)為一次，重復(fù)多次，完成開(kāi)孔的加工；

所述激光除渣的具體方法為，設(shè)置激光器的輸出功率、重復(fù)頻率、脈沖寬度，設(shè)置光斑直徑、離焦量和掃描速度，控制激光光斑以開(kāi)孔中心為圓心，以除渣區(qū)域的外圓半徑減去光斑半徑為半徑的圓周上進(jìn)行掃描除渣。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的MWT電池激光開(kāi)孔及除渣方法，其特征在于：激光開(kāi)孔的步驟中，激光器為1064nm激光器，輸出功率為45±10W，重復(fù)頻率為80-200KHz，脈沖寬度為100±20ns，掃描速度為1200±500mm/s，光斑直徑為35±5μm，離焦量為-(200±30)μm，開(kāi)孔直徑為200μm；

激光除渣的步驟中，除渣區(qū)域的外圓和內(nèi)圓半徑之差為10～20μm，控制激光器功率為45～50W，重復(fù)頻率為150～250KHz，脈沖寬度為100±20ns，掃描速度為1000～3000mm/s，光斑直徑為30～40μm，離焦量為-(50±5)μm。

4.根據(jù)權(quán)利要求1至3任一所述的MWT電池激光開(kāi)孔及除渣方法，其特征在于：加工時(shí)硅片放置在加工平臺(tái)上的負(fù)壓吸盤(pán)上。

5.根據(jù)權(quán)利要求1至3任一所述的MWT電池激光開(kāi)孔及除渣方法，其特征在于：加工時(shí)，加工平臺(tái)下方和斜上方的抽塵模組進(jìn)行抽塵處理。

6.一種MWT電池激光開(kāi)孔及除渣設(shè)備，其特征在于：包括激光加工模組，加工平臺(tái)模組和抽塵模組。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的激光開(kāi)孔及除渣設(shè)備，其特征在于：所述激光加工模組包括依次放置的激光器、反射鏡、擴(kuò)束鏡、光闌、振鏡和場(chǎng)鏡；

所述加工平臺(tái)模組包括加工平臺(tái)和設(shè)置于其上的負(fù)壓吸盤(pán)，所述加工平臺(tái)和負(fù)壓吸盤(pán)對(duì)應(yīng)的硅片開(kāi)孔位置上設(shè)置有孔洞；

抽塵模組包括設(shè)置于加工平臺(tái)斜上方的第二抽塵模組和設(shè)置于加工平臺(tái)下方的第一抽塵模組。