[發明專利]激光裝置

有效

• 申請號: 201711319193.7
• 申請日: 2017-12-12
• 公開（公告）號: CN108233168B
• 公開（公告）日: 2019-03-26
• 發明（設計）人: 貫井亨
• 申請（專利權）人: 發那科株式會社
• 主分類號: H01S5/024
• 分類號: H01S5/024;H01S5/068
• 代理公司: 北京林達劉知識產權代理事務所(普通合伙) 11277
• 代理人: 劉新宇

本發明涉及能夠通過檢測對發熱部進行冷卻的冷卻構件的溫度來探測發熱部的過度的升溫異常的激光裝置。該激光裝置具備：一個或多個發熱部；一個或多個冷卻構件，所述一個或多個冷卻構件以分別與一個或多個發熱部抵接的方式被配置，制冷劑在所述一個或多個冷卻構件的內部流動；一個或多個第一溫度檢測部，所述一個或多個第一溫度檢測部被分別設置于一個或多個冷卻構件，來分別檢測所述一個或多個冷卻構件的溫度；以及監視部，其能夠基于包括由一個或多個第一溫度檢測部檢測出的溫度的信息的溫度信息來分別探測一個或多個冷卻構件的異常。

技術領域

本發明涉及一種激光裝置。詳細地說，本發明涉及一種具備對發熱部進行冷卻的冷卻構件的激光裝置。

背景技術

以往，半導體激光裝置等激光裝置具有多個激光諧振腔、光學部件等發熱部。該發熱部由利用從外部的冷卻裝置供給的冷卻水的冷卻構件進行冷卻。利用將冷卻裝置和冷卻構件相連的供給路將冷卻水從冷卻裝置供給到冷卻構件，并且從冷卻構件向冷卻裝置排出，該冷卻水在冷卻裝置與冷卻構件之間進行循環。

在此，當冷卻水中混入灰塵等異物時流量下降，有時發熱構件過度升溫而發生破損。針對于此，公開了一種保持循環冷卻水和循環路徑的清潔度的激光裝置(例如參照專利文獻1)。然而，利用該技術能夠在一定程度上抑制冷卻水的流量的下降，但不能夠探測發熱部的過度升溫等。

另外，一般公知一種利用流量計來監視流量的下降的方法。然而，在該技術中，存在當有異物附著于流量計時不能夠檢測準確的流量這個問題，還存在流量計的設置需要空間這個問題、流量計價格高這個成本方面的問題。并且，由于在激光裝置(振蕩器)的內部配置有多個發熱部，因此與之對應所需的流量計也多，上述問題變大。

在此，公開了一種不檢測冷卻水的流量而檢測冷卻水的溫度的技術。例如公開了如下一種光源裝置：其基于電流控制元件的基準溫度和檢測溫度以及散熱器的基準溫度和檢測溫度來探測由于冷卻水的不良而導致的散熱器的冷卻能力的下降(例如參照專利文獻2)。

另外，公開了如下一種激光裝置：其檢測冷卻水的溫度，根據檢測出的冷卻水的溫度是否處于規定范圍來探測冷卻機構的異常(參照專利文獻3)。

專利文獻1：日本特開2006-54408號公報

專利文獻2：日本特開2016-184506號公報

專利文獻3：日本特開2012-59993號公報

發明內容

發明要解決的問題

然而，在專利文獻2所公開的技術中具有如下這樣的問題：在作為發熱部的電流控制元件安裝直接溫度測量端子來測量該電流控制元件的溫度，但難以直接測量作為其它發熱部的激光諧振腔的溫度。

另外，在專利文獻3所公開的技術中存在如下這樣的問題：檢測冷卻水的溫度來探測冷卻機構的異常，但不能夠探測冷卻機構的哪個地方存在不良。

并且，在專利文獻2和專利文獻3的技術中均還存在溫度測量元件等價格高、安裝麻煩這樣的問題。

本發明的目的是提供一種通過檢測對發熱部進行冷卻的冷卻構件的溫度來能夠探測發熱部的過度的升溫(異常)的激光裝置。

用于解決問題的方案