[發明專利]鋁鈧合金靶坯及其制備方法及應用

在審

• 申請號: 201711310758.5
• 申請日: 2017-12-11
• 公開（公告）號: CN107841639A
• 公開（公告）日: 2018-03-27
• 發明（設計）人: 程銀兵;莊志杰;顧宗慧;莊猛
• 申請（專利權）人: 基邁克材料科技（蘇州）有限公司
• 主分類號: C22C1/02
• 分類號: C22C1/02;C22C21/00;C22F1/04;C23C14/14;C23C14/34
• 代理公司: 廣州華進聯合專利商標代理有限公司44224
• 代理人: 王樂

1.一種鋁鈧合金靶坯，其特征在于，所述鋁鈧合金靶坯包括：

0.1-15重量份的鈧，85-99.9重量份的鋁，所述鋁鈧合金靶坯的含氧量小于等于160ppm。

2.根據權利要求1所述的鋁鈧合金靶坯，其特征在于，所述鋁鈧合金靶坯的晶粒平均粒度為50-100μm。

3.一種鋁鈧合金靶坯的制備方法，其特征在于，包括如下步驟：

將鈧金屬和鋁金屬按配比投入所述熔煉爐中，抽真空至真空度為0.1-1.0Pa；然后充入惰性保護氣體進行熔煉；所述鈧金屬與所述鋁金屬的質量比為0.1-15:85-99.9；

然后在惰性氣氛下澆鑄成型，冷卻后得到合金鑄錠；

將所述合金鑄錠進行反復軋制、然后退火。

4.根據權利要求3所述的鋁鈧合金靶坯的制備方法，其特征在于：所述制備方法還包括在所述反復軋制后，對所述合金鑄錠進行校平。

5.根據權利要求3所述的鋁鈧合金靶坯的制備方法，其特征在于，所述反復軋制的道次為15-30道次。

6.根據權利要求3所述的鋁鈧合金靶坯的制備方法，其特征在于，所述反復軋制為熱軋制，熱軋制的溫度為400℃-600℃。

7.根據權利要求6所述的鋁鈧合金靶坯的制備方法，其特征在于，所述熱軋制的時間為0.5h-1.5h。

8.一種鋁鈧合金靶材，其特征在于，包括背板、以及貼合于所述背板上的鋁鈧合金靶坯，所述鋁鈧合金靶坯為權利要求1或2所述的鋁鈧合金靶坯。

9.一種鋁鈧合金靶材的制備方法，其特征在于，包括如下步驟：

將權利要求1或2所述的鋁鈧合金靶坯貼合于背板上，從而得到鋁鈧合金靶材。

10.一種包括權利要求1或2所述的鋁鈧合金靶坯在微型機電系統制備中的應用。