[發明專利]一種激光加工裝置及系統

在審

• 申請號: 201711282916.0
• 申請日: 2017-12-07
• 公開（公告）號: CN107855644A
• 公開（公告）日: 2018-03-30
• 發明（設計）人: 肖磊;張芙蓉;梅領亮;徐地華
• 申請（專利權）人: 廣東正業科技股份有限公司
• 主分類號: B23K26/082
• 分類號: B23K26/082;B23K26/064;B23K26/362;G02B6/02
• 代理公司: 北京集佳知識產權代理有限公司11227
• 代理人: 羅滿

1.一種激光加工裝置，其特征在于，包括激光器、激光振鏡、物鏡、用于固定光纖的加工平臺及控制系統，其中：

所述激光器用于發射激光光束；所述激光光束依次通過所述激光振鏡和所述物鏡后聚焦于固定在所述加工平臺上的待加工物體的預設位置；所述控制系統用于將預設線排軌跡定位至所述待加工物體的預設位置，并依據與所述預設線排軌跡相應的軌跡信息生成控制信號，所述激光振鏡依據所述控制信號進行逐線掃描，使聚焦于所述預設位置的激光光束對所述待加工物體進行刻寫，以形成相應的光柵；其中，所述待加工物體為光纖，所述預設位置為纖芯位置。

2.根據權利要求1所述的激光加工裝置，其特征在于，還包括平頂光束整形器，所述激光器發射的激光光束經過所述平頂光束整形器射入至所述激光振鏡的入射端。

3.根據權利要求2所述的激光加工裝置，其特征在于，所述平頂光束整形器包括開普勒型非球面模組、第一定倍擴束鏡模組和第二定倍擴束鏡模組；所述激光器發射的激光光束依次通過所述開普勒型非球面模組、所述第一定倍擴束鏡模組和所述第二定倍擴束鏡模組后射入至所述激光振鏡的入射端。

4.根據權利要求2所述的激光加工裝置，其特征在于，在所述平頂光束整形器和所述激光振鏡之間還包括第一反射鏡、衰減片和第二反射鏡，所述平頂光束整形器射出的激光光束依次經過所述第一反射鏡、所述衰減片和所述第二反射鏡后射入至所述激光振鏡的入射端。

5.根據權利要求1-4任意一項所述的激光加工裝置，其特征在于，還包括介質層，所述激光光束在經過物鏡后通過所述介質層聚焦于所述光纖的纖芯位置，所述介質層與所述激光光束的接觸面為平面，所述介質層的折射率與所述光纖包層的折射率之差小于預設值。

6.根據權利要求5所述的激光加工裝置，其特征在于，所述介質層包括毛細管和浸液層，所述光纖穿過所述毛細管的孔道后固定于所述加工平臺上，所述浸液層位于所述光纖外壁與所述孔道內壁之間；所述毛細管中與所述激光光束接觸的外表面為平面。

7.根據權利要求5所述的激光加工裝置，其特征在于，所述介質層包括玻璃管，所述光纖穿過所述玻璃管的孔道后固定于所述加工平臺上，所述玻璃管的孔道半徑與所述光纖半徑相同；所述玻璃管中與所述激光光束接觸的外表面為平面。

8.根據權利要求5所述的激光加工裝置，其特征在于，所述物鏡為油浸顯微物鏡。

9.根據權利要求5所述的激光加工裝置，其特征在于，所述激光器為皮秒激光器。

10.一種激光加工系統，其特征在于，包括如權利要求1-9任一項所述的激光加工裝置。