[發(fā)明專利]豎直的鋸齒結(jié)構(gòu)X射線折射透鏡在審
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 201711278125.0 | 申請(qǐng)日： | 2017-12-06 |
| 公開(kāi)（公告）號(hào)： | CN108288512A | 公開(kāi)（公告）日： | 2018-07-17 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 黃其煜;徐劍 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人： | 上海交通大學(xué) |
| 主分類號(hào)： | G21K1/06 | 分類號(hào)： | G21K1/06 |
| 代理公司： | 上海漢聲知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 31236 | 代理人： | 莊文莉 |
| 地址： | 200240 *** | 國(guó)省代碼： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 鋸齒狀 鋸齒結(jié)構(gòu) 豎直 鋸齒 折射透鏡 齒尖 基底 透鏡 一體化成型 結(jié)構(gòu)穩(wěn)定 精密加工 平面鋸齒 相向設(shè)置 一次成型 移位問(wèn)題 軟X射線 深刻蝕 電鑄 母版 對(duì)準(zhǔn) 曝光 生產(chǎn) | ||
1.一種豎直的鋸齒結(jié)構(gòu)X射線折射透鏡，其特征在于，包括基底以及設(shè)置在所述基底上的兩個(gè)鋸齒狀單元；其中
兩個(gè)所述鋸齒狀單元相向設(shè)置，兩個(gè)所述鋸齒狀單元一端的鋸齒的齒尖相連，兩個(gè)所述鋸齒狀單元另一端的鋸齒的齒尖分離。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的豎直的鋸齒結(jié)構(gòu)X射線折射透鏡，其特征在于，每個(gè)所述鋸齒狀單元的鋸齒尖之間的連線與兩個(gè)所述鋸齒狀單元的平分線之間的夾角a為0°～45°。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的豎直的鋸齒結(jié)構(gòu)X射線折射透鏡，其特征在于，所述鋸齒為等腰三角形。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的豎直的鋸齒結(jié)構(gòu)X射線折射透鏡，其特征在于，所述鋸齒狀單元的材質(zhì)為硅、鍺、環(huán)氧樹(shù)脂、PMMA、SU-8膠、金剛石、鎳或鈹。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的豎直的鋸齒結(jié)構(gòu)X射線折射透鏡，其特征在于，所述基底的材質(zhì)為硅、鍺、玻璃、環(huán)氧樹(shù)脂、PMMA、金剛石、鎳或鈹。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的豎直的鋸齒結(jié)構(gòu)X射線折射透鏡，其特征在于，所述鋸齒狀單元的高度為50微米～5000微米。
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