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[發(fā)明專(zhuān)利]借助粒度分布控制使溫度梯度最佳化而改進(jìn)流化床反應(yīng)器的操作有效

專(zhuān)利信息
申請(qǐng)?zhí)枺?/td> 201711274323.X 申請(qǐng)日: 2013-12-27
公開(kāi)(公告)號(hào): CN107857269B 公開(kāi)(公告)日: 2020-06-26
發(fā)明(設(shè)計(jì))人: J·W·丘;B·鄒 申請(qǐng)(專(zhuān)利權(quán))人: 各星有限公司
主分類(lèi)號(hào): C01B33/00 分類(lèi)號(hào): C01B33/00;C01B33/021;B01J8/18
代理公司: 南京縱橫知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 32224 代理人: 俞翠華
地址: 中國(guó)香港九龍柯士*** 國(guó)省代碼: 香港;81
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摘要:
搜索關(guān)鍵詞: 借助 粒度 分布 控制 溫度梯度 最佳 改進(jìn) 流化床 反應(yīng)器 操作
【權(quán)利要求書(shū)】:

1.控制具有分配器板和核心床的多晶硅流化床反應(yīng)器的軸向溫度梯度的方法,所述方法包括:

將具有預(yù)定粒度分布的多晶硅晶種加入流化床反應(yīng)器的核心床中;

測(cè)量床中顆粒的粒度分布的寬度,其中所述顆粒由新加入晶種和先前加入晶種的混合物組成,所述先前加入晶種已生長(zhǎng)和/或尺寸收縮;

調(diào)整反應(yīng)器中的晶種添加頻率來(lái)改變床中顆粒的粒度分布的寬度,使得當(dāng)顆粒在核心床中0.4至1.0的標(biāo)準(zhǔn)化高度時(shí),流化床反應(yīng)器中的溫度為1000℉至1300℉;所述標(biāo)準(zhǔn)化高度指的是高度0表示分配器板且高度1.0表示反應(yīng)器床的頂部;和

由可熱分解化合物將硅沉積到新加入晶種和先前加入晶種上;和

從所述床取出多晶硅產(chǎn)物。

2.根據(jù)權(quán)利要求1的方法,其中床中顆粒的粒度分布的寬度由質(zhì)量加權(quán)粒度分布的標(biāo)準(zhǔn)偏差σ與Sauter平均直徑dsm之比確定。

3.根據(jù)權(quán)利要求1的方法,其中每60分鐘至每600分鐘將晶種加入反應(yīng)器中。

4.根據(jù)權(quán)利要求1的方法,其中新加入多晶硅晶種具有50μm至600μm的預(yù)定粒度。

5.根據(jù)權(quán)利要求1的方法,其中床中顆粒的粒度分布的寬度進(jìn)一步通過(guò)調(diào)整反應(yīng)器的多晶硅產(chǎn)物的取出頻率來(lái)控制。

6.根據(jù)權(quán)利要求1的方法,其中每15分鐘至每100分鐘將多晶硅產(chǎn)物從反應(yīng)器中取出。

7.根據(jù)權(quán)利要求1的方法,其中多晶硅產(chǎn)物具有600μm至2,000μm的粒度。

8.控制具有分配器板和核心床的多晶硅流化床反應(yīng)器的軸向溫度梯度的方法,所述方法包括:

將具有預(yù)定粒度分布的多晶硅晶種加入流化床反應(yīng)器的核心床中;

測(cè)量床中顆粒的粒度分布的寬度,其中顆粒由新加入晶種和先前加入晶種的混合物組成,所述先前加入晶種已生長(zhǎng)和/或尺寸收縮;

調(diào)整晶種的預(yù)定粒度分布來(lái)改變床中顆粒的粒度分布的寬度,使得當(dāng)顆粒在核心床中0.4至1.0的標(biāo)準(zhǔn)化高度時(shí),流化床反應(yīng)器中的溫度為1000℉至1300℉, 所述標(biāo)準(zhǔn)化高度指的是高度0表示分配器板且高度1.0表示反應(yīng)器床的頂部;和

由可熱分解化合物將硅沉積到新加入晶種和先前加入晶種上;和

從所述床取出多晶硅產(chǎn)物。

9.根據(jù)權(quán)利要求8的方法,其中床中顆粒的粒度分布的寬度由質(zhì)量加權(quán)粒度分布的標(biāo)準(zhǔn)偏差σ與Sauter平均直徑dsm之比確定。

10.根據(jù)權(quán)利要求8的方法,其中每60分鐘至每600分鐘將晶種加入反應(yīng)器中。

11.根據(jù)權(quán)利要求8的方法,其中新加入多晶硅晶種具有50μm至150μm的預(yù)定粒度。

12.根據(jù)權(quán)利要求8的方法,其中床中顆粒的粒度分布的寬度進(jìn)一步通過(guò)調(diào)整反應(yīng)器的多晶硅產(chǎn)物的取出頻率來(lái)控制。

13.根據(jù)權(quán)利要求8的方法,其中每15分鐘至每100分鐘將多晶硅產(chǎn)物從反應(yīng)器中取出。

14.根據(jù)權(quán)利要求8的方法,其中多晶硅產(chǎn)物具有600μm至2,000μm的粒度。

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