[發(fā)明專(zhuān)利]借助粒度分布控制使溫度梯度最佳化而改進(jìn)流化床反應(yīng)器的操作有效
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 201711274323.X | 申請(qǐng)日: | 2013-12-27 |
| 公開(kāi)(公告)號(hào): | CN107857269B | 公開(kāi)(公告)日: | 2020-06-26 |
| 發(fā)明(設(shè)計(jì))人: | J·W·丘;B·鄒 | 申請(qǐng)(專(zhuān)利權(quán))人: | 各星有限公司 |
| 主分類(lèi)號(hào): | C01B33/00 | 分類(lèi)號(hào): | C01B33/00;C01B33/021;B01J8/18 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關(guān)鍵詞: | 借助 粒度 分布 控制 溫度梯度 最佳 改進(jìn) 流化床 反應(yīng)器 操作 | ||
1.控制具有分配器板和核心床的多晶硅流化床反應(yīng)器的軸向溫度梯度的方法,所述方法包括:
將具有預(yù)定粒度分布的多晶硅晶種加入流化床反應(yīng)器的核心床中;
測(cè)量床中顆粒的粒度分布的寬度,其中所述顆粒由新加入晶種和先前加入晶種的混合物組成,所述先前加入晶種已生長(zhǎng)和/或尺寸收縮;
調(diào)整反應(yīng)器中的晶種添加頻率來(lái)改變床中顆粒的粒度分布的寬度,使得當(dāng)顆粒在核心床中0.4至1.0的標(biāo)準(zhǔn)化高度時(shí),流化床反應(yīng)器中的溫度為1000℉至1300℉;所述標(biāo)準(zhǔn)化高度指的是高度0表示分配器板且高度1.0表示反應(yīng)器床的頂部;和
由可熱分解化合物將硅沉積到新加入晶種和先前加入晶種上;和
從所述床取出多晶硅產(chǎn)物。
2.根據(jù)權(quán)利要求1的方法,其中床中顆粒的粒度分布的寬度由質(zhì)量加權(quán)粒度分布的標(biāo)準(zhǔn)偏差σ與Sauter平均直徑dsm之比確定。
3.根據(jù)權(quán)利要求1的方法,其中每60分鐘至每600分鐘將晶種加入反應(yīng)器中。
4.根據(jù)權(quán)利要求1的方法,其中新加入多晶硅晶種具有50μm至600μm的預(yù)定粒度。
5.根據(jù)權(quán)利要求1的方法,其中床中顆粒的粒度分布的寬度進(jìn)一步通過(guò)調(diào)整反應(yīng)器的多晶硅產(chǎn)物的取出頻率來(lái)控制。
6.根據(jù)權(quán)利要求1的方法,其中每15分鐘至每100分鐘將多晶硅產(chǎn)物從反應(yīng)器中取出。
7.根據(jù)權(quán)利要求1的方法,其中多晶硅產(chǎn)物具有600μm至2,000μm的粒度。
8.控制具有分配器板和核心床的多晶硅流化床反應(yīng)器的軸向溫度梯度的方法,所述方法包括:
將具有預(yù)定粒度分布的多晶硅晶種加入流化床反應(yīng)器的核心床中;
測(cè)量床中顆粒的粒度分布的寬度,其中顆粒由新加入晶種和先前加入晶種的混合物組成,所述先前加入晶種已生長(zhǎng)和/或尺寸收縮;
調(diào)整晶種的預(yù)定粒度分布來(lái)改變床中顆粒的粒度分布的寬度,使得當(dāng)顆粒在核心床中0.4至1.0的標(biāo)準(zhǔn)化高度時(shí),流化床反應(yīng)器中的溫度為1000℉至1300℉, 所述標(biāo)準(zhǔn)化高度指的是高度0表示分配器板且高度1.0表示反應(yīng)器床的頂部;和
由可熱分解化合物將硅沉積到新加入晶種和先前加入晶種上;和
從所述床取出多晶硅產(chǎn)物。
9.根據(jù)權(quán)利要求8的方法,其中床中顆粒的粒度分布的寬度由質(zhì)量加權(quán)粒度分布的標(biāo)準(zhǔn)偏差σ與Sauter平均直徑dsm之比確定。
10.根據(jù)權(quán)利要求8的方法,其中每60分鐘至每600分鐘將晶種加入反應(yīng)器中。
11.根據(jù)權(quán)利要求8的方法,其中新加入多晶硅晶種具有50μm至150μm的預(yù)定粒度。
12.根據(jù)權(quán)利要求8的方法,其中床中顆粒的粒度分布的寬度進(jìn)一步通過(guò)調(diào)整反應(yīng)器的多晶硅產(chǎn)物的取出頻率來(lái)控制。
13.根據(jù)權(quán)利要求8的方法,其中每15分鐘至每100分鐘將多晶硅產(chǎn)物從反應(yīng)器中取出。
14.根據(jù)權(quán)利要求8的方法,其中多晶硅產(chǎn)物具有600μm至2,000μm的粒度。
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