[發明專利]四質量雙解耦陀螺儀

在審

• 申請號: 201711262706.5
• 申請日: 2017-12-04
• 公開（公告）號: CN108061546A
• 公開（公告）日: 2018-05-22
• 發明（設計）人: 梁冰
• 申請（專利權）人: 成都振芯科技股份有限公司
• 主分類號: G01C19/5712
• 分類號: G01C19/5712;G01C19/5656
• 代理公司: 成都金英專利代理事務所(普通合伙) 51218
• 代理人: 袁英

1.一種四質量雙解耦陀螺儀，其特征在于,所述四質量雙解耦陀螺儀可以劃分為完全對稱的四個部分，每個部分包括驅動質量、驅動彈簧、驅動解耦彈簧、驅動和驅動檢測電極、敏感質量、檢測質量、檢測彈簧、檢測解耦彈簧、檢測電極和耦合彈簧，工作過程中，在所述敏感質量上和所述驅動質量上施加相反的驅動電壓使它們產生差分運動。

2.根據權利要求1所述的四質量雙解耦陀螺儀，其特征在于，所述驅動解耦彈簧用于限制所述驅動質量不能在檢測方向上運動，所述檢測解耦彈簧用于限制所述檢測質量不能在驅動方向上運動。

3.根據權利要求2所述的四質量雙解耦陀螺儀，其特征在于，驅動電極采用差分方式排布，在施加電壓時會使陀螺儀工作在驅動模態下。

4.根據權利要求3所述的四質量雙解耦陀螺儀，其特征在于，所述驅動方向的彈簧包括所述驅動彈簧、所述檢測解耦彈簧和所述耦合彈簧，所述驅動模態的質量是所述驅動質量加所述敏感質量。

5.根據權利要求2所述的四質量雙解耦陀螺儀，其特征在于，所述驅動和驅動檢測電極采用梳齒電容，運動方向與梳齒長度方向相同，解決了電容非線性的問題。

6.根據權利要求5所述的四質量雙解耦陀螺儀，其特征在于，所述檢測電極采取平板電容，運動方向與梳齒長度方向相互垂直，可以提高電容變化量，降低驅動電壓和梳齒面積。

7.根據權利要求6所述的四質量雙解耦陀螺儀，其特征在于，所述檢測方向的彈簧包括所述檢測彈簧、所述驅動解耦彈簧和所述耦合彈簧，檢測模態的質量是所述敏感質量和所述檢測質量。

8.根據權利要求1所述的四質量雙解耦陀螺儀，其特征在于，所述耦合彈簧由第一折疊梁、第二折疊梁、連桿、絞支點和錨點構成。

9.根據權利要求8所述的四質量雙解耦陀螺儀，其特征在于，配置耦合彈簧用于兩個敏感質量之間的耦合，當相鄰兩個敏感質量之間相互垂直運動時，主要由所述第二折疊梁發生形變，當兩個敏感質量之間水平運動時，陀螺儀的自由度主要通過兩側耦合彈簧的所述絞支點和所述連桿實現。

10.根據權利要求8所述的四質量雙解耦陀螺儀，其特征在于，配置耦合彈簧用于敏感質量與固定端之間的連接，當相鄰兩個敏感質量之間相互垂直運動時，所述第一折疊梁與所述第二折疊梁一同產生形變。