[發明專利]半導體制造工藝所排放的有害氣體的綜合處理系統在審
| 申請號： | 201711257860.3 | 申請日： | 2017-12-04 |
| 公開（公告）號： | CN109718639A | 公開（公告）日： | 2019-05-07 |
| 發明（設計）人： | 金炫澔;魯學宰;尹今洙 | 申請（專利權）人： | 明成環保科技有限公司 |
| 主分類號： | B01D53/18 | 分類號： | B01D53/18;B01D53/14;B01D53/86;B01D53/56;B01D47/06 |
| 代理公司： | 北京奧文知識產權代理事務所(普通合伙) 11534 | 代理人： | 陰亮;張文 |
| 地址： | 韓國*** | 國省代碼： | 韓國;KR |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 綜合處理系統 半導體制造工藝 排放 催化反應裝置 電氣集塵裝置 氮氧化物 凈化處理 熱交換器 酸性氣體 微細物質 溫室氣體 洗滌除塵 體內 節約 能源 | ||
1.一種有害氣體綜合處理系統，其特征在于，
包括：
殼體，設有讓有害氣體流入的流入部、把凈化的廢氣排放的排放部；
洗滌除塵裝置，由連接到上述流入部并且讓有害氣體貫穿的多個過濾構件、設有向上述過濾構件噴射清洗液的多個噴嘴的洗滌器構成，消除有害氣體內的HF氣體與HCl氣體；
電氣集塵裝置，設于上述洗滌除塵裝置后端并且消除有害氣體內的液滴及薄霧；
催化反應裝置，讓通過了上述電氣集塵裝置的有害氣體流入并且和分解催化劑或還原催化劑進行反應消除N2O氣體后把消除了有害成分的廢氣予以排放。
2.根據權利要求1所述的有害氣體綜合處理系統，其特征在于，
在上述催化反應裝置前端還設有預熱器，
通過了上述電氣集塵裝置的有害氣體再通過上述預熱器而使得溫度上升并且流入催化反應裝置。
3.根據權利要求2所述的有害氣體綜合處理系統，其特征在于，
在上述排放部前端還設有把排放的廢氣予以冷卻的冷卻器。
4.根據權利要求1到3中任一項所述的有害氣體綜合處理系統，其特征在于，
在上述預熱器前端還設有形成了互相獨立的第一歧路及第二歧路的熱交換器，
在通過了上述電氣集塵裝置的有害氣體通過預熱器之前，先通過熱交換器的第一歧路，讓通過了上述催化反應裝置并且被加熱的廢氣則通過上述熱交換器的第二歧路而由上述殼體的排放部排放，
由于第一歧路的有害氣體與第二歧路的廢氣的溫度差異而得以降低上述廢氣的溫度的同時還提高有害氣體的溫度。
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