[發(fā)明專利]改進(jìn)型調(diào)節(jié)鎖緊裝置

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201711244930.1
• 申請(qǐng)日: 2017-11-30
• 公開（公告）號(hào): CN109848691B
• 公開（公告）日: 2021-04-02
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 管博然;李志龍;張志鋼
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 上海微電子裝備（集團(tuán)）股份有限公司
• 主分類號(hào): B23P19/10
• 分類號(hào): B23P19/10;B23P19/00
• 代理公司: 上海思微知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 31237
• 代理人: 屈蘅;李時(shí)云

本發(fā)明提供了一種調(diào)節(jié)鎖緊裝置，包括：與所述微動(dòng)電機(jī)連接的定位簧片；一調(diào)節(jié)單元，所述調(diào)節(jié)單元通過(guò)調(diào)節(jié)所述定位簧片的垂向高度以調(diào)整所述微動(dòng)電機(jī)的垂向位置；一鎖緊單元，所述鎖緊單元通過(guò)鎖緊所述定位簧片以鎖緊所述微動(dòng)電機(jī)；一配合單元，所述配合單元轉(zhuǎn)移所述定位簧片施加至所述調(diào)節(jié)單元和所述鎖緊單元的反作用力。本發(fā)明在實(shí)現(xiàn)微動(dòng)電機(jī)的高度和水平度調(diào)節(jié)與鎖緊的同時(shí)，將調(diào)節(jié)鎖緊作業(yè)時(shí)產(chǎn)生的反作用力作用于自身機(jī)構(gòu)殼體上，減小了對(duì)粗動(dòng)殼體的影響，提升了運(yùn)動(dòng)臺(tái)的可靠性。通過(guò)改進(jìn)調(diào)節(jié)鎖緊裝置的結(jié)構(gòu)，減小了垂向尺寸，提高了調(diào)節(jié)精度。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及一種集成電路裝備制造領(lǐng)域，尤其涉及一種調(diào)節(jié)鎖緊裝置。

背景技術(shù)

精密運(yùn)動(dòng)臺(tái)，一般由粗動(dòng)模塊和微動(dòng)模塊兩部分組成，微動(dòng)電機(jī)的動(dòng)子部分(磁鐵部分)與微動(dòng)模塊固聯(lián)，其定子部分(線圈部分)與粗動(dòng)模塊固聯(lián)，微動(dòng)模塊的動(dòng)子部分用于承載硅片，其定子部分與粗動(dòng)模塊固聯(lián)。通常，微動(dòng)模塊由微動(dòng)電機(jī)來(lái)驅(qū)動(dòng)其六個(gè)自由度的運(yùn)動(dòng)。粗動(dòng)模塊和微動(dòng)模塊之間的連接結(jié)構(gòu)的設(shè)計(jì)及性能參數(shù)，直接決定了整個(gè)精密運(yùn)動(dòng)臺(tái)的機(jī)械精度、調(diào)節(jié)環(huán)富余量大小(裝配難易度)和整體的可靠性。

在申請(qǐng)?zhí)枮?01510134347.X的發(fā)明專利中，公開了一種調(diào)節(jié)鎖緊裝置，用于調(diào)節(jié)微動(dòng)電機(jī)的垂向位置與鎖緊。該調(diào)節(jié)鎖緊裝置實(shí)現(xiàn)了微動(dòng)電機(jī)的高度與水平度的調(diào)節(jié)，并正在達(dá)到所需精度后進(jìn)行鎖緊，但該發(fā)明操作過(guò)程中存在以下問題：1)在實(shí)現(xiàn)調(diào)節(jié)鎖緊作業(yè)時(shí)所產(chǎn)生的反作用力直接作用在調(diào)節(jié)鎖緊裝置自身結(jié)構(gòu)之外的粗動(dòng)殼體上，由于很多運(yùn)動(dòng)臺(tái)的粗動(dòng)殼體為碳纖維結(jié)構(gòu)，只在特定方向上力學(xué)性能優(yōu)異，因而在受到不同方向的較大力的長(zhǎng)期作用后，會(huì)導(dǎo)致不可逆的形變發(fā)生，降低了整個(gè)運(yùn)動(dòng)臺(tái)的可靠性；2)鎖緊作業(yè)時(shí)鎖緊力作用點(diǎn)與出力點(diǎn)不在同一平面上，產(chǎn)生額外轉(zhuǎn)矩； 3)該調(diào)節(jié)鎖緊裝置的垂向尺寸較大，導(dǎo)致運(yùn)動(dòng)臺(tái)質(zhì)心較高，運(yùn)動(dòng)平穩(wěn)性差且加工成本高。

發(fā)明內(nèi)容

為了克服現(xiàn)有技術(shù)中存在的缺陷，本發(fā)明公開一種調(diào)節(jié)鎖緊裝置，用于調(diào)整微動(dòng)電機(jī)的垂向位置及鎖緊，包括：

與所述微動(dòng)電機(jī)連接的定位簧片；

一調(diào)節(jié)單元，所述調(diào)節(jié)單元通過(guò)調(diào)節(jié)所述定位簧片的垂向高度以調(diào)整所述微動(dòng)電機(jī)的垂向位置；

一鎖緊單元，所述鎖緊單元通過(guò)鎖緊所述定位簧片以鎖緊所述微動(dòng)電機(jī)；

一配合單元，所述配合單元將所述調(diào)節(jié)單元與鎖緊單元固定于一機(jī)構(gòu)殼體，并將調(diào)節(jié)和鎖緊的反作用力傳遞到所述機(jī)構(gòu)殼體上。

進(jìn)一步的，所述配合單元包括限位環(huán)孔、限位凸起，所述限位環(huán)孔位于所述機(jī)構(gòu)殼體上，所述限位凸起位于所述調(diào)節(jié)單元和所述鎖緊單元上。

進(jìn)一步的，所述限位凸起包括上限位凸起和下限位凸起，所述上限位凸起與所述下限位凸起分別位于所述限位環(huán)孔兩側(cè)。

進(jìn)一步的，其特征在于，所述限位環(huán)孔為半圓形結(jié)構(gòu)。

進(jìn)一步的，所述限位環(huán)孔為插入定位銷的定位銷孔。

進(jìn)一步的，所述調(diào)節(jié)單元包括頂緊件、上楔形滑塊、下楔形滑塊和調(diào)節(jié)螺桿，所述頂緊件一端與所述定位簧片的調(diào)節(jié)面接觸，另一端固定于所述上楔形滑塊，所述上楔形滑塊和下楔形滑塊的楔形面相接觸，所述調(diào)節(jié)螺桿的一端與所述下楔形滑塊連接。

進(jìn)一步的，所述頂緊件與所述定位簧片的調(diào)節(jié)面接觸的一端為球面結(jié)構(gòu)。

進(jìn)一步的，所述鎖緊單元包括鎖緊件、連接件和鎖緊螺桿，所述鎖緊件與所述定位簧片的楔形面接觸，所述連接件與所述鎖緊件連接，所述鎖緊螺桿的一端與所述連接件連接。

進(jìn)一步的，所述連接件與所述鎖緊件連接的位置、所述連接件與所述鎖緊螺桿連接的位置，兩者在同一高度上。

進(jìn)一步的，所述調(diào)節(jié)螺桿和所述鎖緊螺桿在同一水平面上。

進(jìn)一步的，所述調(diào)節(jié)螺桿的直徑小于所述鎖緊螺桿的直徑。