[發(fā)明專利]壓電陶瓷激勵裝置及原子力顯微鏡、表面力場探測裝置

在審

• 申請?zhí)枺?/td>: 201711244471.7
• 申請日: 2017-11-30
• 公開（公告）號: CN109856428A
• 公開（公告）日: 2019-06-07
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 師帥;郭丹;譚新峰;雒建斌
• 申請（專利權(quán)）人: 清華大學(xué)
• 主分類號: G01Q60/24
• 分類號: G01Q60/24
• 代理公司: 北京華進(jìn)京聯(lián)知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11606
• 代理人: 孫巖

1.一種壓電陶瓷激勵裝置，其特征在于，所述壓電陶瓷激勵裝置包括：

第一壓電陶瓷(102)、第二壓電陶瓷組件(103)及第一墊片(101)；

所述第一壓電陶瓷(102)、所述第一墊片(101)以及所述第二壓電陶瓷組件(103)層疊設(shè)置，所述第一墊片(101)設(shè)置于所述第一壓電陶瓷(102)與第二壓電陶瓷組件(103)之間；

所述第一壓電陶瓷(102)用于接收第一電信號，并在所述第一電信號激勵下進(jìn)行縱向撓曲振動；

所述第二壓電陶瓷組件(103)用于接收第二電信號組，并在所述第二電信號組激勵下進(jìn)行橫向扭轉(zhuǎn)振動。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的壓電陶瓷激勵裝置，其特征在于，所述第二壓電陶瓷組件(103)包括第三壓電陶瓷(1032)和第四壓電陶瓷(1034)，所述第三壓電陶瓷(1032)與第四壓電陶瓷(1034)相對且間隔放置，所述第二電信號組包括相位相反的第三電信號和第四電信號，所述第三壓電陶瓷(1032)用于接收第三電信號，所述第四壓電陶瓷(1034)用于接收第四電信號，且所述第三壓電陶瓷(1032)與第四壓電陶瓷(1034)通過所述第一墊片(101)與所述第一壓電陶瓷(102)間隔設(shè)置。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的壓電陶瓷激勵裝置，其特征在于，所述第三壓電陶瓷(1032)與第四壓電陶瓷(1034)設(shè)置于所述第一墊片(101)遠(yuǎn)離所述第一壓電陶瓷(102)的表面，且間隔設(shè)置于所述第一墊片(101)相對的兩個邊緣。

4.一種原子力顯微鏡，其特征在于，包括：

權(quán)利要求1-3中任意一項所述的壓電陶瓷激勵裝置(100)；

探針部件(200)，與所述壓電陶瓷激勵裝置(100)連接，且所述探針部件(200)能夠接收壓電陶瓷激勵裝置(100)的振動方式，并在所述振動方式的激勵下進(jìn)行振動。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的原子力顯微鏡，其特征在于，

所述探針部件(200)包括探針(210)與探針座(220)，所述探針(210)包括懸臂梁(212)、分別與懸臂梁(212)連接的針尖(214)和探針基板(216)，所述探針(210)能夠相對于探針座(220)自由伸出；

所述探針座(220)能夠接收壓電陶瓷激勵裝置(100)的振動方式，并通過所述探針基板(216)和懸臂梁(212)傳遞所述振動方式以激勵針尖(214)進(jìn)行振動。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的原子力顯微鏡，其特征在于，所述第一壓電陶瓷(102)與所述探針座(220)貼合設(shè)置，所述第一墊片(101)及第二壓電陶瓷組件(103)依次層疊設(shè)置于所述第一壓電陶瓷(102)的表面。

7.根據(jù)權(quán)利要求5所述的原子力顯微鏡，其特征在于，所述第二壓電陶瓷組件(103)與所述探針座(220)貼合設(shè)置，所述第一墊片(101)及第一壓電陶瓷(102)依次層疊設(shè)置于所述第二壓電陶瓷(103)的表面。