[發明專利]藥液的濃度管理裝置、再生裝置、費用的計算方法及系統

在審

• 申請號: 201711232617.6
• 申請日: 2017-11-29
• 公開（公告）號: CN108960882A
• 公開（公告）日: 2018-12-07
• 發明（設計）人: 中川俊元
• 申請（專利權）人: 株式會社平間理化研究所
• 主分類號: G06Q30/02
• 分類號: G06Q30/02;G01F15/07
• 代理公司: 中科專利商標代理有限責任公司 11021
• 代理人: 王婷

本發明提供在對用于制造半導體、液晶顯示器基板的藥液濃度進行管理的服務提供中使用的濃度管理裝置及在對藥液進行再生處理的服務提供中使用的藥液再生裝置、及使用這些裝置而提供的服務提供所涉及的費用的計算方法及系統。濃度管理裝置(1)在補給補充液的配管配備有累計流量計(51～53)。藥液再生裝置(2)在供給再生藥液的配管配備有累計流量計(54)。藥液的濃度管理或再生處理的費用基于由累計流量計計測出的規定期間內的累計流量而算出。累計流量計(221～225)具備通信功能而與網絡(201)連接。累計流量經由網絡由服務器系統(202)接收并存儲。服務器系統(202)具備按照每個累計流量計并基于規定期間的累計流量而計算費用的計算部(205)。

技術領域

本發明涉及對在半導體或者液晶顯示器基板的制造工序中反復使用的各種藥液的濃度進行管理的藥液的濃度管理裝置、使用濃度管理裝置來管理所提供的藥液的濃度的服務中的藥液的濃度管理費用的計算方法及濃度管理費用計算系統。本發明涉及對在半導體或者液晶顯示器基板的制造工序中使用的各種藥液進行再生的藥液再生裝置、使用藥液再生裝置而使所提供的藥液再生的服務中的藥液的再生處理費用的計算方法及再生處理費用計算系統。

背景技術

在半導體或者液晶顯示器基板的制造工序中，例如，使用有顯影液、蝕刻液、剝離液、防帶電劑、清洗液等各種藥液(以下，在無需具體區別這些藥液的情況下將這些藥液統一稱作“藥液”。)。藥液被維持管理為根據需要的規定的濃度而使用，以便使其性能最大限度地發揮作用。另外，有時使用后的藥液被再生處理為能夠再利用而使用。

以往，使用藥液的人(以下有時稱作“藥液使用者”)為了維持管理藥液的濃度而購入并使用藥液的濃度管理裝置。另外，藥液使用者為了將使用后的藥液再生處理為能夠再利用而購入并使用藥液的再生處理裝置。

例如，作為藥液的濃度管理裝置而公開有以下的專利文獻。在專利文獻1中，公開有對顯影液的堿濃度和溶解樹脂濃度進行管理的顯影液濃度管理裝置。另外，在專利文獻2中，公開有對酸濃度和溶解銦濃度進行管理的蝕刻液管理裝置。作為藥液的再生處理裝置，專利文獻3公開有通過精密過濾而使顯影廢液再生的顯影廢液的再生處理裝置。

在先技術文獻

專利文獻1：日本專利第2561578號公報

專利文獻2：日本專利第2747647號公報

專利文獻3：日本特開2005-175118號公報

然而，在像以往那樣購入并使用濃度管理裝置、藥液再生裝置的方式中，藥液使用者需要購入濃度管理裝置、藥液再生裝置，使這些裝置運轉并進行維持管理。另外，在以往的方式中，對于制造銷售濃度管理裝置、藥液再生裝置的人(以下有時稱作“裝置銷售者”)而言，也只有在裝置銷售時點才有獲得這些裝置的回報的機會。

因此，藥液使用者必須承擔用于購入濃度管理裝置、藥液再生裝置的暫時的巨額費用負擔和購入后的運轉及維持管理所涉及的各種精力、負擔。另外，還存在如下問題：裝置銷售者若不在有限的市場之中屢次找尋希望購入裝置的藥液使用者并銷售出裝置，則難以賺取足夠的利益。

發明內容

發明要解決的課題

本發明是鑒于上述的各課題而完成的。發明者提出了提供使用濃度管理裝置而管理藥液的濃度的服務及使用藥液再生裝置而對使用后的藥液進行再生處理的服務的技術方案。即，本發明的目的在于提供一種能夠不使藥液使用者承擔上述那樣的負擔而使用藥液、并且能夠使裝置銷售者持續賺取收益的、在上述提出的新商業模式中使用的藥液的濃度管理裝置及藥液再生裝置、以及對藥液的濃度管理或再生處理所涉及的服務的提供費用進行計算的費用計算方法及費用計算系統。

為了達成所述目的，本發明的藥液的濃度管理裝置利用配管與反復使用藥液的設備連接，并經由配管向在設備中使用的藥液供給補充液來管理藥液的濃度，其中，在配管中配備有累計流量計。