[發明專利]顯影裝置

在審

• 申請號: 201711232616.1
• 申請日: 2017-11-29
• 公開（公告）號: CN108345168A
• 公開（公告）日: 2018-07-31
• 發明（設計）人: 中川俊元
• 申請（專利權）人: 株式會社平間理化研究所
• 主分類號: G03D3/00
• 分類號: G03D3/00;G03F7/30;G03F7/32
• 代理公司: 中科專利商標代理有限責任公司 11021
• 代理人: 王婷

1.一種顯影裝置，其中，

所述顯影裝置具備：

顯影液調制裝置，其將包含顯現堿性的顯影液的主成分的顯影原液與純水混合，調制出濃度被設定好的所述顯影液作為顯影新液；

顯影新液用管路，其輸送從所述顯影液調制裝置向反復使用的所述顯影液補給的所述顯影新液；

顯影原液用管路，其輸送向所述反復使用的所述顯影液補給的所述顯影原液；

純水用管路，其輸送向所述反復使用的所述顯影液補給的純水；以及

顯影液管理裝置，其將所述反復使用的所述顯影液管理為規定的成分濃度或者規定的濃度范圍。

2.根據權利要求1所述的顯影裝置，其中，

所述顯影液管理裝置還具備：

密度儀，其對所述反復使用的所述顯影液的密度值進行測定；以及

控制機構，其基于由所述密度儀測定出的所述密度值，使用所述反復使用的所述顯影液的密度與吸收二氧化碳濃度之間的對應關系，以使所述反復使用的所述顯影液的吸收二氧化碳濃度成為規定的管理值或者規定的管理值以下的方式向設于所述顯影新液用管路的控制閥、設于所述顯影原液用管路的控制閥以及設于所述純水用管路的控制閥中的至少任一方發送控制信號。

3.根據權利要求1所述的顯影裝置，其中，

所述顯影液管理裝置還具備：

密度儀，其對所述反復使用的所述顯影液的密度值進行測定；以及

運算控制機構，其具備運算部和控制部，

所述運算部基于由所述密度儀測定出的所述密度值，根據所述反復使用的所述顯影液的密度與吸收二氧化碳濃度之間的對應關系來算出所述反復使用的所述顯影液的吸收二氧化碳濃度，

所述控制部基于由所述運算部算出的所述吸收二氧化碳濃度的值，以使所述反復使用的所述顯影液的吸收二氧化碳濃度成為規定的管理值或者規定的管理值以下的方式向設于所述顯影新液用管路的控制閥、設于所述顯影原液用管路的控制閥以及設于所述純水用管路的控制閥中的至少任一方發送控制信號。

4.根據權利要求1所述的顯影裝置，其中，

所述顯影液管理裝置還具備：

密度儀，其對所述反復使用的所述顯影液的密度值進行測定；

運算機構，其基于由所述密度儀測定出的所述密度值，根據所述反復使用的所述顯影液的密度與吸收二氧化碳濃度之間的對應關系來算出所述反復使用的所述顯影液的吸收二氧化碳濃度；以及

控制機構，其基于由所述運算機構算出的所述吸收二氧化碳濃度的值，以使所述反復使用的所述顯影液的吸收二氧化碳濃度成為規定的管理值或者規定的管理值以下的方式向設于所述顯影新液用管路的控制閥、設于所述顯影原液用管路的控制閥以及設于所述純水用管路的控制閥中的至少任一方發送控制信號。