[發(fā)明專利]懸吊式運輸系統(tǒng)

在審

• 申請?zhí)枺?/td>: 201711226361.8
• 申請日: 2017-11-29
• 公開（公告）號: CN108116889A
• 公開（公告）日: 2018-06-05
• 發(fā)明（設計）人: 成爀濟;李圣鉉;蔡成根
• 申請（專利權）人: 細美事有限公司
• 主分類號: B65G49/07
• 分類號: B65G49/07
• 代理公司: 上海和躍知識產權代理事務所(普通合伙) 31239
• 代理人: 余文娟

一種懸吊式運輸系統(tǒng)，包括：一對行車軌道，設置在半導體生產線的頂板；載運工具，用于保持匣盒并沿著行車軌道移動，該載運工具包括一對驅動輪以及輔助輪，一對驅動輪被配置成與行車軌道旋轉接觸，輔助輪具有傾斜的槳輪；以及輔助軌道，用于在行車軌道的彎曲路徑上支承輔助輪，該輔助軌道包括傾斜的上端面，該傾斜的上端面具有與所述槳輪的端面相對應的傾斜角度，由此在驅動輪沿著彎曲路徑移動的同時補償各個驅動輪的內側線速度與外側線速度之間的差異。

技術領域

本發(fā)明的實施方式是關于一種懸吊式運輸系統(tǒng)。具體來說，本發(fā)明的示例性實施方式是關于一種用于運輸匣盒的用在半導體生產線的懸吊式運輸系統(tǒng)，其中，在匣盒中貯存有多個晶片，在半導體生產線中半導體處理設備被布置成直列型。

背景技術

一般來說，用于制造半導體器件的半導體處理設備被連續(xù)排列以對半導體基板執(zhí)行各種處理。在匣盒中貯存有多個晶片的狀態(tài)下，被執(zhí)行半導體制造工藝的晶片可被提供至各個半導體處理設備，或者可使用匣盒從各個半導體處理設備收回晶片。

匣盒通過懸吊式運輸系統(tǒng)(在下文中稱為“OHT”)來運輸，懸吊式運輸系統(tǒng)包括行車軌道和載運工具，載運工具能夠保持匣盒并沿著行車軌道行進。而且，OHT系統(tǒng)包括轉向軌道、與行車軌道旋轉接觸的行車軌道、以及與轉向軌道旋轉接觸的轉向輪，其中，轉向軌道設置在半導體生產線的頂板，半導體處理設備連續(xù)排列在半導體生產線中。

被提供在載運工具上的轉向輪沿著轉向軌道旋轉，由此能夠在分支區(qū)域調整載運工具的移動方向，其中，轉向軌道在分支區(qū)域從行車軌道分支出來。

當驅動輪沿著行車軌道的彎曲路徑移動時，驅動輪可能會具有與外側線速度不同的內側線速度。由于內側線速度與外側線速度之間的差異，驅動輪可能無法順暢地沿著行車軌道滾動而滑動。因此，在驅動輪與行車軌道之間可能會產生摩擦力，從而造成微粒產生。其結果，微粒可能會污染半導體處理設備所具有的空隙。

發(fā)明內容

本發(fā)明的示例性實施方式提供一種OHT系統(tǒng)，其能夠減少可能會因驅動輪與行車軌道之間的摩擦力而產生的微粒的量。根據本發(fā)明的一方案，提供了一種OHT系統(tǒng)。該OHT系統(tǒng)包括：一對行車軌道，設置在半導體生產線的頂板；載運工具，用于保持匣盒并沿著行車軌道移動，該載運工具包括一對驅動輪以及輔助輪，一對驅動輪被配置成與行車軌道旋轉接觸，輔助輪具有傾斜的槳輪；以及輔助軌道，用于在行車軌道的彎曲路徑上支承輔助輪，該輔助軌道包括傾斜的上端面，該傾斜的上端面具有與槳輪的端面相對應的傾斜角度，由此在驅動輪在彎曲路徑上行進的同時補償各個驅動輪的內側線速度與外側線速度之間的差異。

在一示例性實施方式中，槳輪可向外朝著輔助輪的中心軸線傾斜。

根據一示例性實施方式，該OHT系統(tǒng)可進一步包括：導軌，被定位成沿著行車軌道且在行車軌道上方，該導軌用于引導載運工具的行進和轉向；以及導輪，設置在載運工具的上端面，該導輪被配置成與導軌旋轉接觸來引導載運工具的行進和轉向。

在一示例性實施方式中，對槳輪的傾斜角度和輔助軌道的傾斜的上端面的傾斜角度根據行車軌道中的彎曲路徑的曲率半徑進行相應調整。

在此，槳輪的傾斜角度和傾斜的上端面的傾斜角度可與行車軌道中的彎曲路徑的曲率半徑成反比。

在一示例性實施方式中，輔助輪的傾斜的端面可具有與槳輪的端面基本相同的傾斜角度。

據此，本發(fā)明的OHT系統(tǒng)包括輔助輪以及輔助軌道，其中輔助輪具有傾斜的槳輪，輔助軌道包括具有與槳輪的端面相同的傾斜角度的傾斜的上端面，由此在驅動輪沿著彎曲路徑移動的同時補償各個驅動輪的內側線速度與外側線速度之間的差異。如此，當沿著行車軌道的彎曲路徑移動時，可使載運工具中的車輪的接觸摩擦減至最小。據此，能夠減少車輪的磨損，提高車輪的耐用性，增長車輪和軌道的保養(yǎng)周期，并且提高半導體處理設備所具有的空隙的清潔度。