[發明專利]麥克風及其制造方法

有效

• 申請號: 201711224635.X
• 申請日: 2017-11-29
• 公開（公告）號: CN108966098B
• 公開（公告）日: 2021-06-22
• 發明（設計）人: 俞一善
• 申請（專利權）人: 現代自動車株式會社;起亞自動車株式會社
• 主分類號: H04R19/01
• 分類號: H04R19/01;H04R31/00
• 代理公司: 北京康信知識產權代理有限責任公司 11240
• 代理人: 陳鵬;李靜

本公開提供了一種麥克風及其制造方法。麥克風包括：固定膜，設置在基底上；隔膜，與固定膜間隔開，其中，空氣層位于固定膜與隔膜之間；支撐層，被構造成將隔膜支撐在固定膜上；以及阻尼孔，被構造成使空氣層中的空氣流動到支撐層的非感測區域。

相關申請的交叉引用

本申請要求于2017年5月19日提交的韓國專利申請第10-2017-0062453號的優先權和權益，其全部內容通過引用結合于此。

技術領域

本公開涉及一種麥克風及其制造方法，并且更具體地，涉及一種能夠在簡化過程的同時提高靈敏度的高靈敏度微電子機械系統(MEMS)麥克風。

背景技術

本部分的陳述僅提供與本公開有關的背景信息，并且可能不構成現有技術。

一般而言，微電子機械系統(MEMS)麥克風是將音頻信號轉換成電信號的裝置，并且MEMS麥克風由半導體批量過程制造。

與應用于大多數車輛的駐極體電容麥克風(ECM)相比，MEMS麥克風具有出色的靈敏度和低的產品性能變化。而且，其可以被微型化并且耐受諸如熱量、濕度等的環境的變化。因此，近來，MEMS麥克風的發展正在逐漸取代ECM。

為了增加作為MEMS麥克風的一個最重要的性能指標的靈敏度，已經進行了對剛度的減小或感測區域的最大化的研究。

圖1是示意性地示出了傳統商用MEMS麥克風的結構的截面圖。

參考圖1，傳統的MEMS麥克風具有隔膜2和固定膜3以規則間隔形成在基底1上并且犧牲層4支撐在其之間的結構。在固定膜中形成有用于進氣的固定膜3的多個孔3h，并且在隔膜2與固定膜之間形成有空氣層5。由通過基底孔1h輸入的聲壓而振動的隔膜2的振動位移由固定膜3感測。

固定膜孔3h用作用于去除固定膜3與隔膜2之間的犧牲層4的路徑。固定膜孔3h用于減小當隔膜2由聲壓振動時的空氣阻尼。

空氣阻尼意味著隔膜2的振動被空氣及其壓力吸收，并且振動位移被抑制。這被稱為由于振動位移的抑制而發生的靈敏度劣化的空氣阻尼效應。

然而，在傳統技術中，當固定膜孔3h的數量增加時，感測區域減小，以便減小固定膜3的空氣阻尼。因此，靈敏度降低。

因此，可以期望可以提高靈敏度的新概念結構。

在韓國專利公開第10-2014-0028467號中進一步公開了相關信息。

發明內容

本公開提供了一種能夠降低空氣阻尼并提高靈敏度的麥克風及其制造方法。為了增加固定膜的感測區域，省略了固定膜的孔。用于減小空氣阻尼的阻尼孔也形成在隔膜外部，以將阻尼孔連接到固定膜與隔膜之間的振動空間。

在本公開的一些形式中，可以提供一種麥克風，其包括：固定膜，設置在基底上；隔膜，與固定膜間隔開，其中，空氣層位于固定膜與隔膜之間；支撐層，被構造成將隔膜支撐在固定膜上；以及阻尼孔，被構造成使空氣層中的空氣流動到支撐層的非感測區域。

阻尼孔可以從隔膜的中心以規則間隔步驟在支撐層的非感測區域中。

阻尼孔可以包括：通孔，被構造成豎直地穿透支撐層的非感測區域；以及連接通道，被構造成將通孔的下部連接到沿水平方向布置的空氣層。

連接通道可以包括具有細狹縫結構的多個通孔。

通孔可以從隔膜的中心步驟成多行。

所述連接通道可以由以下步驟形成：在基底和固定膜的上表面的部分上形成犧牲圖案；并且在犧牲圖案上形成通孔之后，通過通孔去除犧牲圖案。

犧牲圖案可以通過在基底的上表面的部分上圖案化光致抗蝕劑而形成。