[發明專利]一種零件切換裝置以及蒸鍍系統

有效

• 申請號: 201711222051.9
• 申請日: 2017-11-27
• 公開（公告）號: CN107916409B
• 公開（公告）日: 2019-11-26
• 發明（設計）人: 劉揚;吳聰原
• 申請（專利權）人: 深圳市華星光電半導體顯示技術有限公司
• 主分類號: C23C14/50
• 分類號: C23C14/50;C23C14/24
• 代理公司: 44280 深圳市威世博知識產權代理事務所(普通合伙)
• 代理人: 鐘子敏<國際申請>=<國際公布>=<進入

1.一種零件切換裝置，其特征在于，包括基座裝置以及包圍所述基座裝置的基座套；

其中，所述基座裝置包括：

基座，包括底板、環設且垂直連接于所述底板邊緣的側壁，所述側壁上設置有多個用于容置零件的容置槽，所述容置槽的開口方向垂直于所述側壁且遠離所述底板；

轉軸，垂直固定于所述底板，用于帶動所述基座在所述基座套內轉動；

其中，所述基座套上設置有一窗口，用于在所述轉軸帶動所述基座轉動時，使多個所述容置槽能依次對準所述窗口，便于所述容置槽中的零件露出以進行加工或其他操作。

2.根據權利要求1所述的零件切換裝置，其特征在于，

所述底板為圓形，所述側壁沿所述底板的圓周邊緣垂直設置，并朝所述底板的一側面延伸。

3.根據權利要求2所述的零件切換裝置，其特征在于，

所述轉軸固定于所述底板的圓心上，所述轉軸與所述側壁位于所述底板的同一側面。

4.根據權利要求2所述的零件切換裝置，其特征在于，

多個所述容置槽均勻分布設置在所述側壁上。

5.根據權利要求1所述的零件切換裝置，其特征在于，

所述零件切換裝置還包括控制器；

所述控制器連接所述轉軸，用于控制所述轉軸以預設方式進行轉動。

6.一種零件切換裝置，其特征在于，包括多個基座裝置以及包圍所述多個基座裝置的基座套；

所述基座套上設置有一窗口；

其中，每個所述基座裝置包括：

基座，包括底板、環設且垂直連接于所述底板邊緣的側壁，所述側壁上設置有多個用于容置零件的容置槽，所述容置槽的開口方向垂直于所述側壁且遠離所述底板；

第一類轉軸，垂直固定于所述底板，用于帶動所述基座在所述基座套內轉動，使得多個所述容置槽能依次對準所述窗口，以便于所述容置槽中的零件露出以進行加工或其他操作；

每個所述基座裝置的第一類轉軸垂直固定在一第二類轉軸上，所述第二類轉軸用于帶動多個所述基座依次對準所述窗口。

7.根據權利要求6所述的零件切換裝置，其特征在于，

所述基座裝置是如權利要求2-4任一項所述的基座裝置。

8.根據權利要求6所述的零件切換裝置，其特征在于，

多個所述第一類轉軸圍繞所述第二類轉軸均勻分布。

9.根據權利要求6所述的零件切換裝置，其特征在于，

所述零件切換裝置還包括控制器；

所述控制器連接所述第一類轉軸以及所述第二類轉軸，用于控制所述第一類轉軸以及所述第二類轉軸以預設方式進行轉動。

10.一種蒸鍍系統，至少包括鍍膜腔體、蒸發源、基板、膜厚監控儀，其特征在于，所述蒸鍍系統還包括晶振片基座裝置，所述晶振片基座裝置采用的是如權利要求1-9任一項所述的零件切換裝置；

其中，所述晶振片基座裝置中容置的零件為晶振片，所述晶振片基座裝置用于在需要時進行晶振片的切換。