[發(fā)明專利]一種兩維物理量并行檢測的MEMS傳感器有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201711220492.5 | 申請日： | 2017-11-29 |
| 公開（公告）號： | CN108225203B | 公開（公告）日： | 2022-07-22 |
| 發(fā)明（設(shè)計）人： | 鄭天祥;陳碩;雷林緒;鄧占鋒;李璐;劉占元;牛曉晨 | 申請（專利權(quán)）人： | 全球能源互聯(lián)網(wǎng)研究院有限公司;國網(wǎng)江蘇省電力有限公司;國家電網(wǎng)公司 |
| 主分類號： | G01B11/16 | 分類號： | G01B11/16;G01B15/06 |
| 代理公司： | 北京安博達知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11271 | 代理人： | 徐國文 |
| 地址： | 102209 北京*** | 國省代碼： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 一種 物理量 并行 檢測 mems 傳感器 | ||
1.一種兩維物理量并行檢測的MEMS傳感器，其特征在于，
所述兩維物理量為微音和溫度，所述MEMS傳感器包括：微音傳感器和溫度傳感器；
兩傳感器并聯(lián)；
所述微音傳感器為懸臂梁數(shù)目大于一的微音傳感器；
所述微音傳感器與所述溫度傳感器間依次設(shè)有粘附層、反光層和絕緣層；
所述微音傳感器包括座和梁；
所述座的上端設(shè)有縱向豎直設(shè)置的所述梁，所述座下部外側(cè)設(shè)有所述溫度傳感器；
所述梁為不均等的梁，其長寬比為[4,10]；
兩相鄰所述梁間的距離相等；
所述微音傳感器由單晶硅構(gòu)成；
所述粘附層為鈦膜；
所述反光層為金膜；
所述絕緣層為二氧化硅膜；
所述溫度傳感器為熱電阻式溫度傳感器，由PT100鉑電阻構(gòu)成。
2.如權(quán)利要求1所述的一種兩維物理量并行檢測的MEMS傳感器，其特征在于，
所述溫度傳感器的電阻和溫度的關(guān)系包括：
當-200℃t0℃時，Rt＝R0[1+At+Bt+Bt2+C(t-100)t3]；
當0℃t850℃時，Rt＝R0(1+At+Bt+Bt2)；
式中，Rt：在t℃時的電阻值；R0：在0℃時的電阻值；A＝3.9083×10-3℃-1；B＝-5.775×10-7℃-1；C＝-4.183×10-12℃-1；t：溫度。
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