[發明專利]一種大型重載超精密臥式空心氣浮轉臺

有效

• 申請號: 201711201995.8
• 申請日: 2017-11-24
• 公開（公告）號: CN107953117B
• 公開（公告）日: 2019-04-09
• 發明（設計）人: 李增強;潘鑫;石瑋;趙雙
• 申請（專利權）人: 哈工大機器人集團(哈爾濱)華粹智能裝備有限公司
• 主分類號: B23Q1/25
• 分類號: B23Q1/25
• 代理公司: 哈爾濱龍科專利代理有限公司 23206
• 代理人: 高媛

1.一種大型重載超精密臥式空心氣浮轉臺，其組成包括直驅電機(1)、主軸(5)、電機轉子座(2)及電機定子座(7)，所述的直驅電機(1)包括定子部分和轉子部分，所述的主軸(5)水平設置，其特征在于：所述的大型重載超精密臥式空心氣浮轉臺還包括圓光柵(3)、絕對值圓光柵(4)、花崗巖基座(8)、主軸修研環(9)、副軸(10)及兩個氣浮軸承(6)；

主軸(5)的一端與副軸(10)通過主軸修研環(9)連接，主軸(5)與副軸(10)同軸設置，主軸(5)外側沿軸向裝有兩個氣浮軸承(6)，所述的兩個氣浮軸承(6)與主軸(5)同軸設置，且兩個氣浮軸承(6)與主軸(5)之間均留有間隙，兩個氣浮軸承(6)通過花崗巖基座(8)支撐，所述的花崗巖基座(8)內部設有多個相互連通的通氣孔(11)，每個氣浮軸承(6)內部設有多個相互連通的氣槽(12)，設置在花崗巖基座(8)內部的多個通氣孔(11)與外部氣源連通的同時，還與每個氣浮軸承(6)的多個氣槽(12)連通，所述的電機轉子座(2)固定裝在主軸(5)另一端上，所述的直驅電機(1)的定子部分通過電機定子座(7)固定在花崗巖基座(8)上，直驅電機(1)的轉子部分安裝在電機轉子座(2)上，所述的圓光柵(3)和絕對值圓光柵(4)均安裝在電機定子座(7)上。

2.根據權利要求1所述的一種大型重載超精密臥式空心氣浮轉臺，其特征在于：所述的兩個氣浮軸承(6)與主軸(5)之間均留有0.02mm的間隙。

3.根據權利要求1或2所述的一種大型重載超精密臥式空心氣浮轉臺，其特征在于：所述的兩個氣浮軸承(6)均為銅環。