[發(fā)明專(zhuān)利]一種耐高低溫紅外光學(xué)窗口片的制造方法在審
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 201711200976.3 | 申請(qǐng)日： | 2017-11-27 |
| 公開(kāi)（公告）號(hào)： | CN109839677A | 公開(kāi)（公告）日： | 2019-06-04 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 韓崇利 | 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人： | 成都中源紅科技有限公司 |
| 主分類(lèi)號(hào)： | G02B1/111 | 分類(lèi)號(hào)： | G02B1/111;G02B1/14 |
| 代理公司： | 暫無(wú)信息 | 代理人： | 暫無(wú)信息 |
| 地址： | 610100 四川省成都市*** | 國(guó)省代碼： | 四川;51 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 增透膜 耐高低溫 耐高溫膜 紅外光學(xué)窗口 窗口片 隔層 基板 沉積 乙烯基倍半硅氧烷 超聲波清洗 清洗預(yù)處理 低溫環(huán)境 基板放置 基板兩側(cè) 酒精清洗 清水清洗 清洗基板 去離子水 雙層鍍膜 晾干 層厚度 硅氧烷 膜密封 去污劑 透光率 錫箔紙 吹干 結(jié)霜 去油 成像 成功率 沖洗 制造 酒精 清洗 隔離 保證 | ||
本發(fā)明涉及一種耐高低溫紅外光學(xué)窗口片的制造方法，包括基板、增透膜、耐高溫膜和隔層；所述基板兩側(cè)分別沉積有增透膜，增透膜設(shè)置有4層，每層厚度為40nm，增透膜為HfON膜，其材料為乙烯基倍半硅氧烷；在所述基板處于常溫的一側(cè)還沉積有耐高溫膜，耐高溫膜材料為氣態(tài)硅氧烷；包括：(1)清洗預(yù)處理：用去污劑清洗錫箔紙去油后用清水清洗，然后用酒精清洗并晾干；之后清洗基板，將基板放置在酒精中超聲波清洗10min，然后用去離子水反復(fù)沖洗后吹干......等7個(gè)步驟；本發(fā)明采用雙層鍍膜結(jié)構(gòu)，用隔層將窗口片及增透膜和耐高低溫膜密封，使得窗口片與低溫環(huán)境隔離，可避免窗口結(jié)霜，同時(shí)增透膜能增加透光率，增大成像的清晰度，進(jìn)一步保證實(shí)驗(yàn)的成功率。
技術(shù)領(lǐng)域
本發(fā)明涉及紅外光學(xué)器件技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及一種耐高低溫紅外光學(xué)窗口片的制造方法。
背景技術(shù)
光學(xué)窗口是高低溫光學(xué)試驗(yàn)中必不可少的光學(xué)部件，其材質(zhì)與結(jié)構(gòu)的優(yōu)劣必將影響光學(xué)試驗(yàn)的成敗。然而，一般現(xiàn)有的光學(xué)窗口在高低溫(零攝氏度以下)試驗(yàn)時(shí)，很容易由于窗口兩側(cè)的溫度梯度導(dǎo)致窗口處于常溫側(cè)結(jié)霜，致使光學(xué)成像模糊，導(dǎo)致試驗(yàn)失敗。
發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明提供如下技術(shù)方案：一種耐高低溫紅外光學(xué)窗口片的制造方法，包括：基板、增透膜、耐高溫膜和隔層；所述基板兩側(cè)分別沉積有增透膜，增透膜設(shè)置有4層，每層厚度為30-40nm，增透膜為HfON膜，其材料為乙烯基倍半硅氧烷；在所述基板處于常溫的一側(cè)還沉積有耐高溫膜，耐高溫膜有2層每層厚度為35-50nm，耐高溫膜材料為氣態(tài)硅氧烷；所述耐高溫膜、增透膜與基板的外側(cè)周邊上包繞有隔層，所述隔層為錫箔紙；包括如下步驟：(1)清洗預(yù)處理：用去污劑清洗錫箔紙去油后用清水清洗，然后用酒精清洗并晾干；之后清洗基板，將基板放置在酒精中超聲波清洗10min，然后用去離子水反復(fù)沖洗后吹干；(2)將基片放置在PECVD設(shè)備射頻陰極極板上，并將真空室真空抽至3×10-3Pa，接著向射頻源充入氬氣，同時(shí)射頻源放電將氬氣離子化形成氬離子，氬離子對(duì)準(zhǔn)基片進(jìn)行7-15min轟擊；(3)向真空室內(nèi)充滿(mǎn)乙烯基倍半硅氧烷，即在基片表面沉積形成增透膜；(4)將工件溫度緩慢降至室溫，降溫速率為50-70℃/h；(5)重復(fù)步驟(2)后向真空室內(nèi)充滿(mǎn)硅氧烷，即在基片表面沉積形成耐高低溫膜；(6)將工件溫度緩慢降至室溫，降溫速率為50-60℃/h；(7)將鍍膜冷卻后的基片側(cè)周邊均勻涂抹固體膠，然后將第一層錫箔紙粘于基板、增透膜、耐高溫膜上，然后在粘好的錫箔紙表面再次均勻涂抹固體膠，將第二層錫箔紙粘于第一次的錫箔紙上，然后風(fēng)干固化1-1.5天形成隔層，即得。
進(jìn)一步，步驟(2)和步驟(5)中所述基片離射頻源190mm，丁烷充入的流量為50sccm。
本發(fā)明采用雙層鍍膜結(jié)構(gòu)，用隔層將窗口片及增透膜和耐高低溫膜密封，使得窗口片與低溫環(huán)境隔離，可避免窗口結(jié)霜，同時(shí)增透膜能增加透光率，增大成像的清晰度，進(jìn)一步保證實(shí)驗(yàn)的成功率。
附圖說(shuō)明
圖1為一種耐高低溫紅外光學(xué)窗口片的結(jié)構(gòu)示意圖。
其中，1、基板；2、增透膜；3、耐高溫膜；4、隔層。
具體實(shí)施方式
下面結(jié)合附圖對(duì)本發(fā)明的具體實(shí)施方式做詳細(xì)地描述：
實(shí)施例1：
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