[發(fā)明專利]一種MEMS麥克風(fēng)

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201711192077.3
• 申請(qǐng)日: 2017-11-24
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN107835477B
• 公開(kāi)（公告）日: 2020-03-17
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 鄒泉波;王喆;董永偉
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 歌爾股份有限公司
• 主分類號(hào): H04R7/02
• 分類號(hào): H04R7/02;H04R1/28
• 代理公司: 北京博雅睿泉專利代理事務(wù)所(特殊普通合伙) 11442
• 代理人: 王昭智;馬佑平

1.一種MEMS麥克風(fēng)，其特征在于，包括：

襯底；

第一振膜、第二振膜，所述第一振膜、第二振膜之間形成密封腔；

背極單元，所述背極單元位于密封腔內(nèi)且與第一振膜、第二振膜構(gòu)成電容器結(jié)構(gòu)，所述背極單元上設(shè)置有多個(gè)貫通其兩側(cè)的通孔，所述背極單元為一背極板，在所述背極板上設(shè)置有所述通孔，所述背極板通過(guò)第一支撐部支撐連接在所述第二振膜的上方，所述第一振膜通過(guò)第二支撐部支撐連接在所述背極板的上方，所述第一支撐部、所述第二支撐部采用絕緣的材質(zhì)；

其中，在所述密封腔內(nèi)填充有粘滯系數(shù)小于空氣的氣體；

所述氣體為異丁烷、丙烷、丙烯、H₂、乙烷、氨、乙炔、乙基氯、乙烯、CH₃Cl、甲烷、SO₂、H₂S、氯氣、CO₂、N₂O、N₂中的至少一種。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的MEMS麥克風(fēng)，其特征在于：所述密封腔與外界環(huán)境的壓力一致。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的MEMS麥克風(fēng)，其特征在于：所述密封腔的壓力為一個(gè)標(biāo)準(zhǔn)大氣壓。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的MEMS麥克風(fēng)，其特征在于：所述密封腔與外界環(huán)境的壓差小于0.5atm。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的MEMS麥克風(fēng)，其特征在于：所述密封腔與外界環(huán)境的壓差小于0.1atm。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的MEMS麥克風(fēng)，其特征在于：所述第一振膜、第二振膜分別與背極單元之間的間隙為0.5-3μm。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的MEMS麥克風(fēng)，其特征在于：在所述第一振膜與第二振膜之間還設(shè)置有支撐柱，所述支撐柱穿過(guò)背極單元上的通孔且其兩端分別與第一振膜、第二振膜連接在一起。

8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的MEMS麥克風(fēng)，其特征在于：所述支撐柱的材料與第一振膜和/或第二振膜的材料相同。

9.根據(jù)權(quán)利要求7所述的MEMS麥克風(fēng)，其特征在于：所述支撐柱選用絕緣材料。

10.根據(jù)權(quán)利要求1所述的MEMS麥克風(fēng)，其特征在于：所述背極單元包括用于與第一振膜構(gòu)成電容器結(jié)構(gòu)的第一背極板，以及用于與第二振膜構(gòu)成電容器結(jié)構(gòu)的第二背極板；在所述第一背極板與第二背極板之間設(shè)置有絕緣層。

11.根據(jù)權(quán)利要求1所述的MEMS麥克風(fēng)，其特征在于：所述密封腔是在常溫和常壓環(huán)境下進(jìn)行密封的。

12.根據(jù)權(quán)利要求1所述的MEMS麥克風(fēng)，其特征在于：還包括貫通第一振膜、第二振膜的泄壓孔，所述泄壓孔的孔壁與第一振膜、第二振膜圍成了所述的密封腔。

13.根據(jù)權(quán)利要求12所述的MEMS麥克風(fēng)，其特征在于：所述泄壓孔設(shè)置有一個(gè)，其位于第一振膜、第二振膜的中部位置；或者是，所述泄壓孔設(shè)置有多個(gè)。