[發明專利]一種高效制備高純砷化鋁的方法在審
| 申請號: | 201711168246.X | 申請日: | 2017-11-21 |
| 公開(公告)號: | CN107902695A | 公開(公告)日: | 2018-04-13 |
| 發明(設計)人: | 陳遷;張麗梅;李暢;黃文偉 | 申請(專利權)人: | 紅河砷業有限責任公司 |
| 主分類號: | C01G28/00 | 分類號: | C01G28/00 |
| 代理公司: | 昆明大百科專利事務所53106 | 代理人: | 李云 |
| 地址: | 661007 云南省*** | 國省代碼: | 云南;53 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 一種 高效 制備 高純 砷化鋁 方法 | ||
1.一種高效制備高純砷化鋁的方法,其特征在于,采用氣相沉積法,在氬氣保護下分別將三氯化鋁和三氯化砷在揮發室中加熱揮發成蒸汽,通過噴嘴噴入反應室反應,氣相沉積生成砷化鋁晶體;具體步驟如下:
(1)以氬氣為保護氣體,將三氯化鋁和三氯化砷按摩爾質量比為1:1~1.5:1取料,分別置于一個揮發室中,300~900℃條件下揮發0.5h~12h,使兩種物料都處于蒸汽狀態;
(2)通過噴嘴將兩個揮發室中的三氯化鋁和三氯化砷蒸汽同時噴入一個反應室內,在300~900℃條件下反應2h~5h,氣相沉積得到沉積物;
(3)將所得沉積物在反應室中加熱揮發2h~12h,加熱溫度為300~900℃、壓強為0.5~100KPa,除去殘余的氯,冷卻,得到純度大于99.9%的橘黃色的晶體砷化鋁。
2.根據權利要求1所述的一種高效制備高純砷化鋁的方法,其特征在于,所述反應室采用鈦材制做。
3.根據權利要求1所述的一種高效制備高純砷化鋁的方法,其特征在于:所述步驟(2)中,將三氯化鋁和三氯化砷蒸汽沉積后的剩余揮發氣體在常溫下加壓至600~700kPa或在常壓下冷卻到-34℃得到液氯。
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