[發(fā)明專利]一種用于晶圓烘烤單元的盤蓋快速拆卸裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201711159347.0
• 申請日: 2017-11-20
• 公開（公告）號: CN109807766B
• 公開（公告）日: 2020-08-04
• 發(fā)明（設計）人: 孫元斌
• 申請（專利權）人: 沈陽芯源微電子設備股份有限公司
• 主分類號: B25B11/00
• 分類號: B25B11/00
• 代理公司: 沈陽科苑專利商標代理有限公司 21002
• 代理人: 白振宇

本發(fā)明屬于集成電路芯片制造領域，具體地說是一種用于晶圓烘烤單元的盤蓋快速拆卸裝置，包括盤蓋本體、上蓋保溫固定塊、鎖緊固定塊、磁鐵型鎖緊器、鎖緊銷、上蓋拆卸塊及拆卸組件，盤蓋本體上設有上蓋保溫固定塊，上蓋保溫固定塊的一端安裝在盤蓋本體上，另一端連接有鎖緊銷；盤蓋本體的周圍設有安裝在晶圓烘烤單元的鎖緊固定塊，鎖緊固定塊上安裝有磁鐵型鎖緊器，鎖緊銷的一端連接于上蓋保溫固定塊上，另一端插入磁鐵型鎖緊器中，通過磁力固定；盤蓋本體上設有上蓋拆卸塊，拆卸組件在盤蓋本體需要拆卸時插入上蓋拆卸塊與盤蓋本體之間的縫隙。本發(fā)明可有效提高烘烤單元的維護清潔效率，對提高半導體設備產能與減輕維護人員工作負擔起到較大幫助。

技術領域

本發(fā)明屬于集成電路芯片制造領域，具體地說是一種用于晶圓烘烤單元的盤蓋快速拆卸裝置。

背景技術

目前，在半導體晶圓加工過程中，需頻繁使用晶圓烘烤單元。在不同烘烤溫度下，烘烤單元內部會產生大量揮發(fā)的有機溶劑，并通過盤蓋裝置被排風系統(tǒng)引走，因此盤蓋裝置的清潔就顯得較為頻繁。在高溫狀態(tài)下的盤蓋拆卸過程可能引起燙傷危險，同時以往盤蓋的拆卸亦較為困難。

發(fā)明內容

為了解決高溫狀態(tài)下的盤蓋拆卸存在的上述問題，本發(fā)明的目的在于提供一種用于晶圓烘烤單元的盤蓋快速拆卸裝置。

本發(fā)明的目的是通過以下技術方案來實現的：

本發(fā)明包括盤蓋本體、上蓋保溫固定塊、鎖緊固定塊、磁鐵型鎖緊器、鎖緊銷、上蓋拆卸塊及拆卸組件，其中盤蓋本體上設有上蓋保溫固定塊，該上蓋保溫固定塊的一端安裝在所述盤蓋本體上，另一端連接有所述鎖緊銷；所述盤蓋本體的周圍設有安裝在晶圓烘烤單元的鎖緊固定塊，該鎖緊固定塊上安裝有所述磁鐵型鎖緊器，所述鎖緊銷的一端連接于上蓋保溫固定塊上，另一端插入該磁鐵型鎖緊器中，通過磁力固定；所述盤蓋本體上設有上蓋拆卸塊，所述拆卸組件在盤蓋本體需要拆卸時插入上蓋拆卸塊與盤蓋本體之間的縫隙，克服所述鎖緊銷與磁鐵型鎖緊器之間的磁力抬起盤蓋本體、上蓋保溫固定塊及鎖緊銷，該鎖緊銷在所述盤蓋本體拆卸過程中脫離磁鐵型鎖緊器，進而將盤蓋本體移出晶圓烘烤單元；

其中：所述磁鐵型鎖緊器的一端安裝在鎖緊固定塊上開設的凹槽A中、且該端開設有供所述鎖緊銷另一端插入的鎖緊槽，所述磁鐵型鎖緊器的另一端由所述鎖緊固定塊伸出，并由螺母鎖緊固定；所述鎖緊銷的一端由上蓋保溫固定塊上開設的凹槽B穿過，并通過位于該凹槽B內的螺母緊固；

所述上蓋保溫固定塊與鎖緊固定塊的數量相同，并一一對應；所述鎖緊固定塊為兩個，對稱分布于所述盤蓋本體的左右兩側；所述上蓋保溫固定塊為兩個，對稱分布于所述盤蓋本體的左右兩側，該上蓋保溫固定塊的一端固定在盤蓋本體的邊緣，另一端連接有兩個鎖緊銷，所述鎖緊固定塊上對應地安裝有兩個磁鐵型鎖緊器；

所述上蓋拆卸塊為一組兩個，每個上蓋拆卸塊的一端均固定在所述盤蓋本體上，另一端與該盤蓋本體之間留有所述縫隙；

所述拆卸組件包括盤蓋拆卸板及盤蓋拆卸扳手，該盤蓋拆卸板的一端在盤蓋本體需要拆卸時插入所述上蓋拆卸塊與盤蓋本體之間的縫隙中，另一端與所述盤蓋拆卸扳手相連；

在抬起盤蓋本體的外力大于所述鎖緊銷與磁鐵型鎖緊器之間的磁力時，該鎖緊銷脫離磁鐵型鎖緊器；

所述磁鐵型鎖緊器水平放置。

本發(fā)明的優(yōu)點與積極效果為：

1.本發(fā)明的盤蓋本體在拆卸與安裝過程中，磁鐵型鎖緊器與鎖緊銷很好地起到了固定與限位的作用；磁鐵型鎖緊器通過磁力將鎖緊銷吸引并固定于磁鐵型鎖緊器內的鎖緊槽內部，并有磁力保證整體結構不會無故變動；在盤蓋本體拆卸過程中，人為外力大于磁鐵型鎖緊器內的鎖緊槽與鎖緊銷之間的磁力，從而將盤蓋本體移出烘烤單元內部。