[發(fā)明專利]一種稀土摻雜鋁酸鍶長(zhǎng)余輝薄膜制備

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201711133528.6
• 申請(qǐng)日: 2017-11-16
• 公開（公告）號(hào): CN109796969A
• 公開（公告）日: 2019-05-24
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 不公告發(fā)明人
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 江蘇三聯(lián)新材料有限公司
• 主分類號(hào): C09K11/64
• 分類號(hào): C09K11/64
• 代理公司: 暫無(wú)信息
• 代理人: 暫無(wú)信息

1.一種稀土摻雜鋁酸鍶長(zhǎng)余輝薄膜制備，首先按名義成分制備Sr0.995Al2O4∶0.005Eu2+熒光粉和陶瓷靶材，然后在0.1 Pa的工作氣壓、2.5 W/cm2的功率密度和923 K的基片溫度下，利用射頻磁控濺射技術(shù)沉積1 h，在1 223 K弱還原氣氛下熱處理后，得到了同質(zhì)緩沖層.然后在緩沖層上繼續(xù)沉積，在濺射氣壓0.2 Pa、功率密度2.5 W/cm2以及基片溫度873 K的濺射參數(shù)下，沉積3 h，最后在相同條件下退火。

2.根據(jù)權(quán)利要求 1 所述的在藍(lán)寶石襯底上制備取向的SrAl2O4∶Eu2+薄膜，以O(shè)2和Ar混合氣體作為濺射工作氣體隨著氧分壓的提高，薄膜的Sr/Al原子比越接近靶材的比例，結(jié)晶度越高。