[發明專利]一種芯片智能加工設備

在審

• 申請號: 201711129040.6
• 申請日: 2017-11-15
• 公開（公告）號: CN108155114A
• 公開（公告）日: 2018-06-12
• 發明（設計）人: 肖梓健;王昌華
• 申請（專利權）人: 鹽城盈信通科技有限公司
• 主分類號: H01L21/67
• 分類號: H01L21/67;H01L21/677
• 代理公司: 常州市權航專利代理有限公司 32280
• 代理人: 袁興隆

1.一種芯片智能加工設備，其特征在于：包括加工機架、上料裝置、下料裝置、搬運裝置和作業裝置，所述搬運裝置用于將代加工芯片從所述上料裝置上取出放置在加工機架上，以及用于將加工好的芯片從所述加工機架上取出放置在下料裝置上，所述搬運裝置包括基座、升降軸、大臂、小臂和末端執行器，所述升降軸設置在基座內并由一氣缸驅動其做升降運動，所述大臂的一端通過第一減速電機與升降軸連接，所述小臂的一端通過第二減速電機與大臂的另一端連接，所述末端執行器的端部通過第三減速電機與小臂的另一端連接，所述末端執行器上設置有多個吸盤；所述加工機架上設置有工作臺，所述工作臺和所述加工機架之間通過X/Y方向驅動裝置，所述X/Y方向驅動裝置帶動工作臺沿X軸、Y軸方向移動，工作臺上設置有卡盤，所述卡盤包括卡盤體、活動卡爪和卡爪驅動機構，其中活動卡爪用于夾持固定待加工的芯片；

所述加工裝置還包括控制裝置，所述控制裝置包括控制器、數據分析與處理單元、運動控制單元、位移檢測裝置和通訊單元，所述數據分析與處理單元、運動控制單元、位移檢測裝置、搬運裝置、X/Y方向驅動裝置、卡爪驅動機構和作業裝置通過所述通訊單元與所述控制器連接并受控于控制器；所述作業裝置包括點焊機和多關節機械手，所述點焊機設置在多關節機械手的末端并位于加工機架一旁，通過多關節機械手調整該點焊機和待加工芯片之間的相對位置。

2.如權利要求1所述的一種芯片智能加工設備，所述點焊機還包括以伺服電機作為驅動源而進行開閉動作的電極對，以及點焊機控制裝置，所述點焊機控制裝置用于控制伺服電機，使該點焊機的該電極對進行開閉動作，所述點焊機控制裝置包括運動指令模塊，其按照指定所述電極對的閉合速度的速度設定值向所述伺服電機輸出動作指令；速度設定值調整部，其用于提供給所述運動指令模塊的所述速度設定值。

3.如權利要求1所述的一種芯片智能加工設備，其特征在于：

所述控制裝置還包括視覺檢測裝置，所述視覺檢測裝置也通過所述通訊單元與所述控制器連接，所述視覺檢測裝置用于采集上料裝置的圖像信息并輸出，所述數據分析與處理單元連接所述視覺檢測裝置，對采集的圖像信息進行處理并產生處理數據，所述控制器根據接收的處理數據，向運動控制單元發出驅動信號來控制多關節機械手作業；所述位移檢測裝置用于檢測所述多關節機械手的關節角度，所述位移檢測裝置將測量的關節角度值發送至控制器以使得所述控制器根據所述位移檢測裝置反饋的關節角度值來及時調整多關節機械手作業。

4.如權利要求1所述的一種芯片智能加工設備，其特征在于：所述控制器為PLC控制器，所述PLC控制器還包括觸摸屏，所述觸摸屏用于接收用戶指令。

5.如權利要求1所述的一種芯片智能加工設備，其特征在于：所述位移檢測裝置為光電編碼器，所述視覺檢測裝置為CCD攝像機。