[發明專利]高輸出穩定性的壓阻式三軸加速度計

在審

• 申請號: 201711113324.6
• 申請日: 2017-11-13
• 公開（公告）號: CN107727885A
• 公開（公告）日: 2018-02-23
• 發明（設計）人: 張文棟;宋金龍;何常德;薛晨陽
• 申請（專利權）人: 中北大學
• 主分類號: G01P15/12
• 分類號: G01P15/12;G01P15/18
• 代理公司: 太原科衛專利事務所(普通合伙)14100
• 代理人: 朱源,武建云

1.一種高輸出穩定性的壓阻式三軸加速度計，包括SOI基片（1），所述SOI基片（1）由中部敏感質量塊（4）、八個矩形梁（5）和回形邊框（6）組成，所述敏感質量塊（4）每邊通過兩個平行的矩形梁（5）與回形邊框（6）連接；每個矩形梁（5）上在靠近中心質量塊（4）和回形邊框（6）的一端各有一個壓敏電阻（7），每個壓敏電阻（7）通過金屬引線（10）與位于回形邊框（6）上的焊盤（3）電氣連接；

所述SOI基片（1）的器件層與玻璃片（2）鍵合，SOI基片（1）的襯底層與玻璃片（2）鍵合；

其特征在于：每個壓敏電阻（7）的四周區域離子注入磷元素形成相互連接的N+重摻雜區域（9）后通過金屬引線（10）與位于回形邊框（6）上的焊盤（3）電氣連接；加速度計工作時N+重摻雜區域（9）接入不低于惠斯通電橋供電電壓的電勢。

2.根據權利要求1所述的高輸出穩定性的壓阻式三軸加速度計，其特征在于：敏感質量塊（4）的結構尺寸為3200μm×3200μm×380μm；回形邊框（6）的寬度為1000μm、厚度為395μm；矩形梁（5）的結構尺寸為700μm×200μm×15μm；每個矩形梁（5）上的兩端各分布一個長度為96μm、寬度為8μm的壓敏電阻（7）。