[發(fā)明專利]掩膜板貼合裝置以及其貼合方法

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201711080476.0
• 申請日: 2017-11-06
• 公開（公告）號: CN107604309B
• 公開（公告）日: 2023-09-15
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 戚海平
• 申請（專利權(quán)）人: 京東方科技集團(tuán)股份有限公司;鄂爾多斯市源盛光電有限責(zé)任公司
• 主分類號: C23C14/04
• 分類號: C23C14/04;C23C14/24;C23C14/12
• 代理公司: 北京鼎佳達(dá)知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 11348
• 代理人: 王偉鋒;劉鐵生

1.一種掩膜板貼合裝置，其特征在于，包括：

本體，所述本體上具有壓合單元，所述壓合單元上具有出氣口，所述出氣口用于朝向掩膜板的貼合區(qū)域噴出壓合氣體，所述掩膜板包括金屬掩膜和掩膜框架，所述金屬掩膜貼合于所述掩膜框架上；

所述壓合單元包括固定出氣筒和活動出氣筒，所述固定出氣筒固定于所述本體，所述活動出氣筒套裝于所述固定出氣筒內(nèi)，其中，所述活動出氣筒與所述固定出氣筒之間為活動連接，所述活動出氣筒用于沿所述固定出氣筒的軸線方向伸縮，使所述活動出氣筒端部的第一子出氣口靠近或遠(yuǎn)離掩膜板的貼合區(qū)域，所述固定出氣筒的端部具有與所述第一子出氣口出氣方向相同的環(huán)形第二子出氣口。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的掩膜板貼合裝置，其特征在于，

所述本體的一側(cè)具有多個所述壓合單元，多個所述壓合單元上的出氣口用于分別朝向掩膜板的貼合區(qū)域中的多個位置噴出壓合氣體。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的掩膜板貼合裝置，其特征在于，

所述壓合單元活動連接于所述本體，用于使所述壓合單元的出氣口靠近或遠(yuǎn)離掩膜板的貼合區(qū)域。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的掩膜板貼合裝置，其特征在于，還包括：

驅(qū)動部，所述驅(qū)動部的驅(qū)動端連接于所述活動出氣筒；

檢測部，所述檢測部連接于所述驅(qū)動部，所述檢測部用于檢測金屬掩膜和掩膜框架貼合區(qū)域的平坦度，并根據(jù)所述平坦度信息控制所述驅(qū)動部調(diào)節(jié)所述第一子出氣口與所述貼合區(qū)域之間的距離。

5.根據(jù)權(quán)利要求2所述的掩膜板貼合裝置，其特征在于，

多個所述出氣口的出氣方向相互平行。

6.一種掩膜板的貼合方法，利用如權(quán)利要求1至5中任一項所述的掩膜板貼合裝置，其特征在于，包括：

使金屬掩膜的第一貼合區(qū)域與掩膜框架的第二貼合區(qū)域相互貼合；

將所述掩膜板貼合裝置設(shè)置于所述金屬掩膜背離于所述掩膜框架的一側(cè)，并根據(jù)所述第一貼合區(qū)域和第二貼合區(qū)域的平坦度調(diào)節(jié)所述掩膜板貼合裝置中出氣口與所述金屬掩膜之間的距離；

通過所述出氣口向所述金屬掩膜中的第一貼合區(qū)域噴氣。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的掩膜板的貼合方法，其特征在于，

所述出氣口的出氣方向與金屬掩膜相互垂直。

8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的掩膜板的貼合方法，其特征在于，

所述出氣口的出氣方向與金屬掩膜之間具有預(yù)設(shè)夾角，所述預(yù)設(shè)夾角的角度為45度至60度。

9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的掩膜板的貼合方法，其特征在于，

所述出氣口用于吹出惰性氣體。