[發(fā)明專利]基板承載裝置及烘烤設(shè)備

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201711080080.6
• 申請(qǐng)日: 2017-11-06
• 公開（公告）號(hào): CN107883773A
• 公開（公告）日: 2018-04-06
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 宋天鵬
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 武漢華星光電半導(dǎo)體顯示技術(shù)有限公司
• 主分類號(hào): F27D3/12
• 分類號(hào): F27D3/12;F27D19/00
• 代理公司: 深圳市銘粵知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司44304
• 代理人: 孫偉峰,顧楠楠

1.一種基板承載裝置，其特征在于：包括多層承載架(1)以及與承載架(1)連接驅(qū)動(dòng)的升降機(jī)構(gòu)(2)，所述升降機(jī)構(gòu)(2)與承載架(1)一一對(duì)應(yīng)設(shè)置，升降機(jī)構(gòu)(2)用于調(diào)節(jié)每層承載架(1)與相鄰承載架(1)之間的間距。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基板承載裝置，其特征在于：還包括控制器(3)，所述控制器(3)與升降機(jī)構(gòu)(2)連接并對(duì)升降機(jī)構(gòu)(2)的啟停進(jìn)行控制。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基板承載裝置，其特征在于：每層承載架(1)上設(shè)有用于獲知與相鄰承載架(1)距離的傳感器(4)，傳感器(4)與控制器(3)連接。

4.根據(jù)權(quán)利要求1-3任意一項(xiàng)所述的基板承載裝置，其特征在于：所述升降機(jī)構(gòu)(2)為直線電機(jī)，所述直線電機(jī)具有動(dòng)子座(5)，所述承載架(1)與動(dòng)子座(5)連接固定。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的基板承載裝置，其特征在于：所述承載架(1)包括與升降機(jī)構(gòu)(2)垂直設(shè)置的主支架(11)以及設(shè)于主支架(11)背離升降機(jī)構(gòu)(2)一側(cè)表面的多根支臂(12)，所述支臂(12)與主支架(11)垂直。

6.根據(jù)權(quán)利要求3所述的基板承載裝置，其特征在于：所述傳感器(4)設(shè)于每層承載架(1)的上端。

7.根據(jù)權(quán)利要求3或6所述的基板承載裝置，其特征在于：所述傳感器(4)為光電開關(guān)。

8.一種烘烤設(shè)備，包括烘烤室(6)，其特征在于：所述烘烤室(6)內(nèi)設(shè)有如權(quán)利要求1-7任意一項(xiàng)所述的基板承載裝置，所述烘烤室(6)設(shè)有基板進(jìn)入口(7)，所述升降機(jī)構(gòu)(2)設(shè)于烘烤室(6)與基板進(jìn)入口(7)相對(duì)的一側(cè)內(nèi)壁上。