[發明專利]一種基于圖像的遲滯模型校正AFM掃描圖像遲滯的方法

有效

• 申請號: 201711068122.4
• 申請日: 2017-11-03
• 公開（公告）號: CN108009995B
• 公開（公告）日: 2021-11-19
• 發明（設計）人: 張連生;陳小波;黃繼超;黃強先;程真英;李紅莉;李瑞君
• 申請（專利權）人: 合肥工業大學
• 主分類號: G06T5/00
• 分類號: G06T5/00;G06K9/62
• 代理公司: 安徽合肥華信知識產權代理有限公司 34112
• 代理人: 余成俊

1.一種基于圖像的遲滯模型校正AFM掃描圖像遲滯的方法，其特征在于：具體步驟如下：

(1)建立基于圖像的遲滯模型，過程如下：

原子力顯微鏡使用壓電陶瓷進行試樣三維形貌掃描時，構造如下基于圖像的遲滯模型：

校正遲滯后正向掃描圖像的橫從標：

校正遲滯后反向掃描圖像的橫從標：

其中p_max為掃描圖像橫坐標最大值，p₁為試樣上任意一點D在反向掃描圖像中的橫坐標，p₂為試樣上同一任意點D在校正遲滯后的圖像中的橫坐標，p₃為試樣上該任意點D在正向掃描圖像的橫坐標；

(2)使用原子力顯微鏡獲得試樣同一目標區域的正向掃描圖像和反向掃描圖像；

(3)根據步驟(2)獲取的正向掃描圖像和反向掃描圖像進行特征點匹配，獲得多組匹配的特征點分別在正向掃描圖像和反向掃描圖像中的坐標信息；

(4)根據步驟(3)獲取的多組匹配的特征點的坐標信息，求解步驟(1)建立的遲滯模型的參數：

其中，n為匹配的特征點的組數，p_max為掃描圖像的橫坐標最大值；p_1i為第i組匹配的特征點在反向掃描圖像中的橫坐標，p_3i為第i組匹配的特征點在正向掃描圖像中的橫坐標，k_i為根據第i組匹配的特征點求得的遲滯模型參數，k為根據n組匹配的特征點求得的遲滯模型參數的平均值；

(5)根據步驟(4)求解的遲滯模型分別對步驟(2)獲取的正向掃描圖像和反向掃描圖像進行坐標變換重構，獲得校正遲滯后的圖像。