[發明專利]太陽能電池的電極局部接觸結構的制備方法在審
| 申請號: | 201711050575.4 | 申請日: | 2017-10-31 |
| 公開(公告)號: | CN107768484A | 公開(公告)日: | 2018-03-06 |
| 發明(設計)人: | 李華;靳玉鵬 | 申請(專利權)人: | 泰州隆基樂葉光伏科技有限公司 |
| 主分類號: | H01L31/18 | 分類號: | H01L31/18;H01L31/0224 |
| 代理公司: | 南京正聯知識產權代理有限公司32243 | 代理人: | 文雯 |
| 地址: | 225300 *** | 國省代碼: | 江蘇;32 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 太陽能電池 電極 局部 接觸 結構 制備 方法 | ||
1.一種太陽能電池的電極局部接觸結構的制備方法,其特征在于:包括以下步驟,
在已經完成至少發射極制備和介質膜制備的半導體層上,圖形化形成導電材料層;
進行第一步熱處理過程;
進行第二步局域熱處理過程,局域熱處理方法采用激光局域輻照方法,僅在接受激光輻照的導電材料穿透其下的介質膜與半導體材料形成接觸,未接受激光輻照的導電材料不穿透其下的介質膜,導電材料的穿透其下的介質膜與半導體材料形成局部接觸區域的面積小于導電材料的整體面積。
2.如權利要求1所述的太陽能電池的電極局部接觸結構的制備方法,其特征在于:圖形化導電材料層過程中包含有一步或數個圖形化過程,以及一個或數個烘干過程,其中各步的導電材料相同或者不相同。
3.如權利要求1所述的太陽能電池的電極局部接觸結構的制備方法,其特征在于:激光局域輻照方法采用的激光的波長范圍是300nm-1100nm。
4.如權利要求1所述的太陽能電池的電極局部接觸結構的制備方法,其特征在于:激光輻照方法中,輻照掃描方式沿著柵線方向進行或者垂直于柵線方向進行。
5.如權利要求1-4任一項所述的太陽能電池的電極局部接觸結構的制備方法,其特征在于:激光輻照方法中,激光輻照的光斑大小采用小于或等于太陽能電池柵線寬度的光斑進行掃描式輻照,或者采用大于太陽能電池柵線的寬度進行掃描式輻照,輻照次數采用一次以上。
6.如權利要求1-4任一項所述的太陽能電池的電極局部接觸結構的制備方法,其特征在于:第一熱處理過程的峰值溫度為500℃~900℃。
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H01L 半導體器件;其他類目中不包括的電固體器件
H01L31-00 對紅外輻射、光、較短波長的電磁輻射,或微粒輻射敏感的,并且專門適用于把這樣的輻射能轉換為電能的,或者專門適用于通過這樣的輻射進行電能控制的半導體器件;專門適用于制造或處理這些半導體器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半導體本體為特征的
H01L31-04 .用作轉換器件的
H01L31-08 .其中的輻射控制通過該器件的電流的,例如光敏電阻器
H01L31-12 .與如在一個共用襯底內或其上形成的,一個或多個電光源,如場致發光光源在結構上相連的,并與其電光源在電氣上或光學上相耦合的





