[發明專利]一種彈性激光剝蝕樣品靶座有效
| 申請號: | 201711048453.1 | 申請日: | 2017-10-31 |
| 公開(公告)號: | CN107941893B | 公開(公告)日: | 2020-06-26 |
| 發明(設計)人: | 倪倩;陳立飛;陳海紅;羅濤;張文;胡兆初 | 申請(專利權)人: | 中國地質大學(武漢) |
| 主分類號: | G01N27/62 | 分類號: | G01N27/62;G01N1/28;B23K26/70 |
| 代理公司: | 武漢知產時代知識產權代理有限公司 42238 | 代理人: | 龔春來 |
| 地址: | 430074 湖*** | 國省代碼: | 湖北;42 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 一種 彈性 激光 剝蝕 樣品 | ||
1.一種彈性激光剝蝕樣品靶座,其特征在于,包括靶座本體,所述靶座本體的制作材料為彈性材料,所述彈性材料為透明的,所述靶座本體一體成型,所述靶座本體通過彈性材料灌注而成,所述靶座本體的表面平整,所述靶座本體上開有數個樣品孔位,所述樣品孔位的底部開有排氣孔,所述樣品孔位內放置樣品,所述樣品孔位的內徑能通過擠壓而增大,進而使樣品孔位內能放置直徑偏差在±2mm以內的樣品,所述樣品放置在樣品孔位內時通過排氣孔將樣品和樣品孔位之間多余的空氣排出。
2.根據權利要求1所述的彈性激光剝蝕樣品靶座,其特征在于,所述靶座本體為長方體,所述靶座本體的外輪廓尺寸101mm×54mm×10mm,數個樣品孔位在靶座本體上對稱分布,所述靶座本體上還設有數個標準孔位,數個標準孔位在靶座本體上對稱分布。
3.根據權利要求2所述的彈性激光剝蝕樣品靶座,其特征在于,所述標準孔位的數量為3個,所述標準孔位設在靶座本體的一側,所述標準孔位內放置標準樣品,所述標準樣品的直徑為14-18mm,厚度為2-7mm。
4.根據權利要求1所述的彈性激光剝蝕樣品靶座,其特征在于,所述樣品孔位的深度為7mm,所述排氣孔的內徑為4-6mm,所述排氣孔設置在樣品孔位的中間。
5.根據權利要求1-4任一項所述的彈性激光剝蝕樣品靶座,其特征在于,所述樣品孔位為大靶樣品孔位,所述大靶樣品孔位的中心設有一個排氣孔,所述大靶樣品孔位內放置大靶樣品,大靶樣品的直徑為24-28mm,厚度為2-7mm。
6.根據權利要求1-4任一項所述的彈性激光剝蝕樣品靶座,其特征在于,所述樣品孔位為小靶樣品孔位,所述小靶樣品孔位的中心設有一個排氣孔,所述小靶樣品孔位內放置小靶樣品,小靶樣品的直徑為14-18mm,厚度為2-7mm。
7.根據權利要求1-4任一項所述的彈性激光剝蝕樣品靶座,其特征在于,所述樣品孔位為薄片樣品孔位,所述薄片樣品孔位的中間對稱設有三個排氣孔,所述薄片樣品孔位內放置薄片樣品,薄片樣品的尺寸范圍為27±2mm×46±2mm×1.5±0.5mm。
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