[發(fā)明專利]一種可延長真空泵使用壽命的帶免清洗罩的勻膠機

在審

• 申請?zhí)枺?/td>: 201711046251.3
• 申請日: 2017-10-31
• 公開（公告）號: CN107694854A
• 公開（公告）日: 2018-02-16
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 章顯紅
• 申請（專利權(quán)）人: 成都融創(chuàng)智谷科技有限公司
• 主分類號: B05C11/00
• 分類號: B05C11/00;B05C11/10
• 代理公司: 成都弘毅天承知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司51230
• 代理人: 李春芳

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及勻膠機裝置，屬于涂層領(lǐng)域，更具體地說，本發(fā)明涉及一種可延長真空泵使用壽命的帶免清洗罩的勻膠機。

背景技術(shù)

勻膠機又稱甩膠機、勻膠臺、旋轉(zhuǎn)涂膠機、旋轉(zhuǎn)涂膜機、旋轉(zhuǎn)涂層機、旋轉(zhuǎn)涂布機、旋轉(zhuǎn)薄膜機、旋轉(zhuǎn)涂覆儀、旋轉(zhuǎn)涂膜儀、勻膜機，總的來說，他們的原理是一樣的，即在高速旋轉(zhuǎn)的基片上，滴注各類膠液，利用離心力使滴在基片上的膠液均勻地涂覆在基片上。

勻膠機在工作過程中，由于高速旋轉(zhuǎn)，膠液容易甩出基片而粘在勻膠機機臺上，使勻膠機機臺被玷污，隨著使用時間的增加，勻膠機機臺上的膠越來越多，不容易清洗，可能污染后期的基片。而現(xiàn)有的免清洗罩結(jié)構(gòu)固定，無法適應(yīng)不同尺寸的勻膠機工作臺；同時，現(xiàn)有的免清洗罩為一次性免清洗罩，這樣容易造成材料的浪費。

同時，現(xiàn)有勻膠機托盤無法有效的阻擋膠液在甩動過程中滲入真空吸片口中，現(xiàn)有技術(shù)中基片與真空吸片口直接接觸，勻膠機在高速旋轉(zhuǎn)過程中，膠液受旋轉(zhuǎn)離心力和表面張力的聯(lián)合作用，被展開成一層薄膜，其中甩動過程中被甩出至基片邊緣的膠滴，由于基片邊緣與真空吸片口的壓力差和膠體的表面張力的作用，部分基片邊緣的膠滴會沿著硅片的背面被吸入真空吸片口中，從而堵塞真空吸片口，造成真空吸片口吸力不足，從而造成“飛片”現(xiàn)象或造成膠液薄膜的均勻性變差。

發(fā)明內(nèi)容

基于以上技術(shù)問題，本發(fā)明提供了一種可延長真空泵使用壽命的帶免清洗罩的勻膠機，從而解決了以往鍋體清洗不方便，清洗罩為一次性清洗罩，造成材料的浪費及勻膠過程中膠液堵塞真空吸片口，引起真空吸片口吸力不足的技術(shù)問題。

為解決以上技術(shù)問題，本發(fā)明采用的技術(shù)方案如下：

一種可延長真空泵使用壽命的帶免清洗罩的勻膠機，包括底座和固定在底座的鍋體，

所述底座中設(shè)有轉(zhuǎn)動電機,底座上設(shè)有轉(zhuǎn)軸，轉(zhuǎn)軸內(nèi)設(shè)有真空泵，真空泵上端設(shè)有真空吸片口，真空吸片口上端設(shè)有托盤，所述托盤下端通過螺紋與轉(zhuǎn)軸連接，托盤上部設(shè)有托盤蓋，托盤內(nèi)部設(shè)有多個儲膠管，每個儲膠管內(nèi)沿長度方向設(shè)有多個傾斜擋片，傾斜擋片上下交錯排列并留有缺口，所述儲膠管內(nèi)通過傾斜擋片形成曲線形的空氣通道a,所述托盤上端內(nèi)側(cè)設(shè)有卡槽，托盤蓋通過卡槽與托盤進(jìn)行連接；

所述鍋體套設(shè)在托盤外部，鍋體上設(shè)有免清洗罩，免清洗罩包括軟帶，軟帶上固定連接有多個扇形葉片，每個扇形葉片包括罩底和通過鉸接裝置與罩底活動連接的罩沿，罩底的外側(cè)設(shè)有滑動裝置，其中任意兩個相鄰扇形葉片之間還設(shè)置有連接扣組件，多個扇形葉片可繞軟帶圍合形成圓形的罩體并通過連接扣組件固定，所述扇形葉片上設(shè)有一層一次性薄膜。

在以上技術(shù)方案基礎(chǔ)上：所述真空吸片口與托盤之間留有間隙，并形成一個連通真空吸片口與托盤空氣通道b。

在以上技術(shù)方案基礎(chǔ)上：所述多個儲膠管并列連接在一起，且儲膠管的底部與托盤的底部之間留有間隙，并形成連通儲膠管與托盤空氣通道c。

在以上技術(shù)方案基礎(chǔ)上：所述托盤蓋為均勻布滿通孔的蓋體。

在以上技術(shù)方案基礎(chǔ)上：所述鉸鏈裝置由固定在罩底外側(cè)的轉(zhuǎn)動孔和固定在罩沿底部的轉(zhuǎn)軸構(gòu)成，轉(zhuǎn)動孔活動套設(shè)于轉(zhuǎn)軸的外部。

在以上技術(shù)方案基礎(chǔ)上：所述滑動裝置內(nèi)設(shè)有固定齒和滑動齒，滑動齒可沿固定齒水平移動。

在以上技術(shù)方案基礎(chǔ)上：轉(zhuǎn)動孔設(shè)有水平和豎直方向的限位塊。

綜上所述，由于采用了上述技術(shù)方案，本發(fā)明的有益效果是：

1、本發(fā)明中，扇形葉片上平鋪一層一次性薄膜，工作時鋪上一次性薄膜，工作完成后取下工作中粘有膠液的一次性薄膜，更換新的一次性薄膜，便于下一次使用，這樣通過對一次性薄膜更換，實現(xiàn)了免清洗罩的反復(fù)使用，節(jié)約材料；

2、本發(fā)明中，鉸鏈裝置可以保證罩繞沿鉸接裝置在水平和豎直方向上轉(zhuǎn)動，工作時將罩沿繞鉸接裝置旋轉(zhuǎn)至豎直方向，形成罩體，工作完后將罩沿繞鉸接裝置旋轉(zhuǎn)至水平方向，方便一次性薄膜的更換；

3、本發(fā)明中，滑動裝置中滑動結(jié)構(gòu)沿固定結(jié)構(gòu)水平移動，可以調(diào)節(jié)罩底的大小，從而實現(xiàn)免清洗罩大小可以調(diào)節(jié)，從而適應(yīng)適應(yīng)不同尺寸的勻膠工作臺；

4、本發(fā)明中，連接扣組件可以使扇形葉片繞軟帶圍合形成罩體，并通過連接扣組件固定，保證免清洗罩的安裝與拆卸方便；

5、本發(fā)明中，托盤中設(shè)有多個帶傾斜擋片的儲膠管，儲膠管中的傾斜擋片可以有效的阻擋甩出基片的膠液進(jìn)入真空吸片口，從而造成真空吸片口的堵塞，導(dǎo)致真空吸片口吸力不足，進(jìn)而造成“飛片”現(xiàn)象或膠液薄膜均勻性變差；