[發(fā)明專利]摻氧混合氣體放電等離子體氧化處理鈣鈦礦太陽電池空穴傳輸層的方法

在審

• 申請?zhí)枺?/td>: 201711045750.0
• 申請日: 2017-10-31
• 公開（公告）號: CN107887521A
• 公開（公告）日: 2018-04-06
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 王東棟;曲浩;張春梅;趙高;牛晨
• 申請（專利權(quán)）人: 北京印刷學(xué)院
• 主分類號: H01L51/50
• 分類號: H01L51/50;H01L51/56;H01L51/00
• 代理公司: 北京思海天達知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司11203
• 代理人: 張立改

1.一種快速氧化鈣鈦礦太陽電池的方法，其特征在于，利用摻氧混合氣體放電低溫等離子體處理鈣鈦礦太陽電池，利用氧等離子體中活性基團與空穴傳輸層發(fā)生反應(yīng)來實現(xiàn)其空穴傳輸層的功能化。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其特征在于，包括下列步驟：

(1)制備薄膜鈣鈦礦太陽電池；

(2)通入含氧和放電氣體的混合氣體，利用等離子體發(fā)生裝置產(chǎn)生穩(wěn)定、均勻的氣體放電等離子體；將鈣鈦礦電池置于等離子體區(qū)域，利用氧等離子體與空穴傳輸層發(fā)生反應(yīng)來完成空穴傳輸層的功能化，并控制反應(yīng)時間。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其特征在于，所述的鈣鈦礦太陽電池為包括依次組合的陽極、空穴傳輸層、光活性層、電子傳輸層和陰極的多層結(jié)構(gòu)。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其特征在于，所通入的氣體為氧氣和氬氣的混合氣體。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其特征在于，等離子體放電功率為5～200瓦。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其特征在于，鈣鈦礦太陽電池在等離子體區(qū)域處理的時間為0.5～100S。