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[發明專利]一種石墨烯生長保護裝置有效

專利信息
申請號: 201711043572.8 申請日: 2017-10-31
公開(公告)號: CN107555421B 公開(公告)日: 2020-10-02
發明(設計)人: 朱洋;邵蓉 申請(專利權)人: 南京旭羽睿材料科技有限公司
主分類號: C01B32/186 分類號: C01B32/186
代理公司: 暫無信息 代理人: 暫無信息
地址: 211100 江蘇省南京市江*** 國省代碼: 江蘇;32
權利要求書: 查看更多 說明書: 查看更多
摘要:
搜索關鍵詞: 一種 石墨 生長 保護裝置
【權利要求書】:

1.一種石墨烯生長保護裝置,包括底座(2),其特征在于,所述底座(2)的上端固定有爐體(20),所述爐體(20)的內部設有空腔,所述空腔內從上至下依次設有加熱器(19)、傳熱網(4)與冷卻器(3),所述加熱器(19)的內部設有石英管(12),所述石英管(12)的兩端均貫穿加熱器(19)并分別連接有真空法蘭(11)與連接法蘭(14),所述連接法蘭(14)遠離石英管(12)的一端連通有輸氣管(13)、冷卻氣體出管(15)、冷卻氣體進管(16)與壓力表(18),所述石英管(12)的兩端套設有第一安裝板(21)與第二安裝板(30),所述爐體(20)的兩側均通過鎖緊螺釘固定有支撐板(5),兩個所述支撐板(5)的上端均固定有安裝架(10),且兩個安裝架(10)的上端分別套接在石英管(12)的兩端,兩個所述安裝架(10)與第一安裝板(21)、第二安裝板(30)之間均設有連接桿(22),所述連接桿(22)的兩端均套設有限位裝置(23);

所述冷卻器(3)通過鎖緊螺釘固定在空腔內的底端側壁上;

所述輸氣管(13)、冷卻氣體出管(15)與冷卻氣體進管(16)上均設有閥門(17);

所述底座(2)的下端設有行走機構(1),所述行走機構(1)采用萬向輪;

所述限位裝置(23)包括第一限位板(24)與第二限位板(25),所述第一限位板(24)與第二限位板(25)靠近連接桿(22)的一側設有橡膠板(29),所述第一限位板(24)與第二限位板(25)的兩端分別設有第一限位塊(26)與第二限位塊(27),所述第一限位塊(26)與第二限位塊(27)之間設有限位桿(28),所述第一限位塊(26)與第二限位塊(27)的內部均設有與限位桿(28)對應的螺孔,兩個所述螺孔內分別設有方向相反的螺紋,所述限位桿(28)的兩端分別貫穿兩個螺孔,且限位桿(28)與第一限位塊(26)、第二限位塊(27)之間均為螺紋連接;

所述支撐板(5)的內部設有通槽,所述通槽內設有固定桿(6),所述通槽內側壁上設有與固定桿(6)螺紋連接的內螺紋,所述固定桿(6)的下端貫穿通槽并連接有固定塊(7),所述固定塊(7)與支撐板(5)之間設有彈簧(8),所述固定桿(6)的兩端均貫穿通槽,且固定桿(6)的上端套設有橡膠圈(9),所述固定桿(6)的下端與固定塊(7)之間轉動連接。

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