[發(fā)明專利]制備金剛石涂層的熱絲架及裝置

在審

• 申請?zhí)枺?/td>: 201711037867.4
• 申請日: 2017-10-27
• 公開（公告）號: CN109722646A
• 公開（公告）日: 2019-05-07
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 唐永炳;楊揚;谷繼騰
• 申請（專利權(quán)）人: 深圳先進技術(shù)研究院
• 主分類號: C23C16/27
• 分類號: C23C16/27;C23C16/458;C23C16/455
• 代理公司: 廣州三環(huán)專利商標(biāo)代理有限公司 44202
• 代理人: 郝傳鑫;熊永強

1.一種制備金剛石涂層的熱絲架，其特征在于，包括兩左電極、兩右電極，及連接位于同一水平面的所述左電極及與所述右電極的兩電熱絲組，所述兩左電極在第一方向上相互平行，所述兩右電極在第一方向上相互平行，所述兩電熱絲組在第二方向上相互平行，所述第一方向與所述第二方向相互垂直。

2.如權(quán)利要求1所述的熱絲架，其特征在于，所述每一右電極遠離所述左電極的一側(cè)上設(shè)置有支撐架，所述支撐架通過絕緣件與所述右電極相連；每一電熱絲組包括多個相互平行的電熱絲，每一所述電熱絲包括第一端及與所述第一端正對的所述第二端，所述第一端固定在所述左電極上，所述第二端經(jīng)過所述右電極固定在所述支撐架上。

3.如權(quán)利要求2所述的熱絲架，其特征在于，所述右電極開設(shè)有容納所述電熱絲的開槽，所述電熱絲的第二端通過所述開槽固定在所述支撐架上。

4.如權(quán)利要求2所述的熱絲架，其特征在于，所述支撐架上設(shè)有高溫彈簧，所述第二端穿過所述開槽固定在所述高溫彈簧的一端，所述高溫彈簧的另一端固定在所述支撐架上。

5.如權(quán)利要求2至4任意一項所述的加熱絲，其特征在于，所述支撐架與水平面的夾角為30°。

6.如權(quán)利要求1所述的熱絲架，其特征在于，還包括用于支撐所述左電極以及支撐所述右電極的至少兩電極支柱。

7.一種制備金剛石涂層的裝置，其特征在于，包括如權(quán)利要求1至6任意一項所述的熱絲架。

8.如權(quán)利要求7所述的裝置，其特征在于，還包括置于所述相互平行的兩電熱絲組之間的金屬承載組件，所述金屬承載組件包括重疊設(shè)置的兩夾片及加緊螺絲，其中，待進行制備金剛石涂層的金屬基片通過所述夾片與所述加緊螺絲放置在相互平行的兩所述電熱絲組之間。

9.如權(quán)利要求7所述的裝置，其特征在于，所述金屬承載組件包括用于支撐所述夾片的至少一支架及與所述支架相連的一基片托盤。

10.如權(quán)利要求9所述的裝置，其特征在于，還包括一升降臺，所述升降臺與所述基片托盤固定連接便通過控制升降臺升或降可調(diào)節(jié)夾設(shè)在兩所述夾片之間的金屬基片在兩電熱絲組之間的高度。

11.如權(quán)利要求7所述的裝置，其特征在于，還包括電極支撐組件，所述電極支撐組件與每一所述銅電極支柱相連，用于支撐每一所述銅電極支柱。

12.如權(quán)利要求11所述的裝置，其特征在于，所述電極支撐組件包括過渡銅支撐柱以及用于支撐所述過渡銅支撐柱的水冷銅電極支柱，所述過渡銅支撐柱與所述銅電極支柱相連，所述水冷銅電極支柱為中空結(jié)構(gòu)，能涌入流動的降溫液體。