[發明專利]一種碳化硅晶體生長爐的高壽命保溫系統在審
| 申請號： | 201711034767.6 | 申請日： | 2017-10-30 |
| 公開（公告）號： | CN107779955A | 公開（公告）日： | 2018-03-09 |
| 發明（設計）人： | 張皓;徐永寬;徐所成;李璐杰;張政;郭森;程紅娟 | 申請（專利權）人： | 中國電子科技集團公司第四十六研究所 |
| 主分類號： | C30B29/36 | 分類號： | C30B29/36;C30B23/00 |
| 代理公司： | 天津中環專利商標代理有限公司12105 | 代理人： | 胡京生 |
| 地址： | 300220*** | 國省代碼： | 天津;12 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 碳化硅 晶體生長 壽命 保溫 系統 | ||
【權利要求書】：
1.一種碳化硅晶體生長爐的高壽命保溫系統，包括頂保溫盤（1），內層保溫軟氈（3），內層保溫硬氈（4），外層保溫軟氈（5），外層保溫硬氈（6），底保溫盤（9），其特征在于：還包括C/C復合套（2），所述的C/C復合套（2）為采用厚度0.5mm C/C復合材料的圓筒，內直徑大于生長坩堝（7）外直徑5-10mm、高度大于生長坩堝（7）高度5-10mm，并將圓筒上下端進行切斷處理每周兩個斷口，斷口寬度1~1.5mm、長度為2/3筒高，避免了閉合回路的形成，生長坩堝（7）外同心放置C/C復合套（2），C/C復合套（2）外依次包裹內層保溫軟氈（3）、內層保溫硬氈（4）、外層保溫軟氈（5）、外層保溫硬氈（6）并一同固定于頂保溫盤（1）和底保溫盤（9）中間。
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