[發明專利]靶材組件的制造方法在審
| 申請號： | 201711024429.4 | 申請日： | 2017-10-27 |
| 公開（公告）號： | CN108000057A | 公開（公告）日： | 2018-05-08 |
| 發明（設計）人： | 劉樹峰;魯飛;李慧;李靜雅;劉小魚;婁樹普;孫良成;白洋;成宇;鄭天倉 | 申請（專利權）人： | 包頭稀土研究院;瑞科稀土冶金及功能材料國家工程研究中心有限公司 |
| 主分類號： | B23P15/00 | 分類號： | B23P15/00 |
| 代理公司： | 北京康盛知識產權代理有限公司 11331 | 代理人： | 張良 |
| 地址： | 014030 內蒙古自*** | 國省代碼： | 內蒙古;15 |
| 權利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 組件 制造 方法 | ||
【權利要求書】：
1.一種靶材組件的制造方法，包括：
根據背板材質要求準備相應的背板粉末原料；
準備待焊接的靶材板坯，靶材板坯包括濺射面和焊接面；
將背板粉末原料和靶材板坯依次裝入模具中，背板粉末原料和靶材板坯的焊接面相接觸；
將裝有背板粉末原料和靶材板坯的模具放入真空熱壓燒結爐，同步進行背板熱壓燒結成型，以及靶材板坯與背板材料擴散焊接，得到靶材組件坯體；
對得到的靶材組件坯體進行外形機加工處理得到靶材組件。
2.如權利要求1所述靶材組件的制造方法，其特征在于：背板粉末原料為Al粉或Cu粉，粒度小于100μm。
3.如權利要求1所述靶材組件的制造方法，其特征在于：靶材板坯裝入模具前，將靶材板坯的焊接面預先進行噴砂或機加工處理，提高焊接面的粗糙度。
4.如權利要求1所述靶材組件的制造方法，其特征在于：模具放入真空熱壓燒結爐后，燒結成型前先進行預壓緊，壓緊壓力為0.1～5MPa。
5.如權利要求1所述靶材組件的制造方法，其特征在于：熱壓燒結溫度500-800℃，壓力20～30MPa，保溫保壓2～3小時。
下載完整專利技術內容需要扣除積分，VIP會員可以免費下載。
該專利技術資料僅供研究查看技術是否侵權等信息，商用須獲得專利權人授權。該專利全部權利屬于包頭稀土研究院;瑞科稀土冶金及功能材料國家工程研究中心有限公司，未經包頭稀土研究院;瑞科稀土冶金及功能材料國家工程研究中心有限公司許可，擅自商用是侵權行為。如果您想購買此專利、獲得商業授權和技術合作，請聯系【客服】
本文鏈接：http://www.szxzyx.cn/pat/books/201711024429.4/1.html，轉載請聲明來源鉆瓜專利網。
- 上一篇：用于渦輪葉片的周向間隔的設備
- 下一篇：一種嗜堿性模擬酶及其制備方法與應用
