[發明專利]一種陣列可調光衰減器及其衰減和制作方法

在審

• 申請號: 201711021922.0
• 申請日: 2017-10-27
• 公開（公告）號: CN107608029A
• 公開（公告）日: 2018-01-19
• 發明（設計）人: 徐曉輝;陳輝;張伊;丁麗;周天紅;馬衛東
• 申請（專利權）人: 武漢光迅科技股份有限公司
• 主分類號: G02B6/26
• 分類號: G02B6/26
• 代理公司: 北京天奇智新知識產權代理有限公司11340
• 代理人: 劉黎明

1.一種陣列可調光衰減器，包括至少一個信道單元，所述信道單元包括至少兩路相互獨立的調制光波導以及設置于至少一路調制光波導上的加熱電極；其特征在于，與所述調制光波導相連的輸入光波導和/或輸出光波導具有遮擋漏光以防止漏光與調制光波導耦合的彎曲狀部位。

2.根據權利要求1所述的一種陣列可調光衰減器，其特征在于，各路調制光波導分光于同一輸入光波導并匯聚于同一輸出光波導。

3.根據權利要求1所述的一種陣列可調光衰減器，其特征在于，所述的加熱電極兩端連接有導電功能的電極引線。

4.根據權利要求1所述的一種陣列可調光衰減器，其特征在于，所述信道單元為若干個，相鄰信道單元之間設置有隔熱槽。

5.根據權利要求4所述的一種陣列可調光衰減器，其特征在于，所述隔熱槽內填充有導熱系數小于0.026W/(m.k)、熱膨脹系數小于0.5×10^-6/K的聚合物。

6.根據權利要求1所述的一種陣列可調光衰減器，其特征在于，所述加熱電極的電阻率為50～500nΩ·m；和/或與所述加熱電極相連的電極引線的電導率為60～110％IACS。

7.根據權利要求1所述的一種陣列可調光衰減器，其特征在于，所述加熱電極上設置有金屬薄膜防氧化保護層。

8.一種陣列可調光衰減方法，其特征在于，包括：

將光信號從輸入彎曲光波導引入衰減器后平均分成至少兩個傳輸光路；

利用輸入光波導和/或輸出光波導的彎曲狀部位遮擋輸入光波導和/或輸出光波導的漏光以防止漏光與調制光波導耦合；

加熱至少一個傳輸光路以改變該光路的光信號相位；

將各傳輸光路的光信號疊加以實現光信號的衰減。

9.一種陣列可調光衰減器的制作方法，其特征在于，包括：

在襯底上形成二氧化硅下包層，在所述下包層上沉積波導芯層；

在所述波導芯片上刻蝕可調光衰減器陣列光路；

沉積包裹所述波導芯片的二氧化硅上包層，在所述上包層上形成和波導芯層相鄰的加熱電極層；

其中，刻蝕可調光衰減器陣列光路時，刻蝕具有遮擋漏光以防止漏光與調制光波導耦合的彎曲狀部位的輸入光波導和/或輸出光波導。

10.根據權利要求9所述的一種陣列可調光衰減器的制作方法，其特征在于，包括：

在各信道之間蝕刻隔熱槽，在隔熱槽中填充Polymer材料；

和/或

在所述上包層上形成包裹所述加熱電極層的金屬薄膜防氧化保護層。