[發明專利]柔性面板的制備方法、柔性面板及顯示裝置有效
| 申請號: | 201711002040.X | 申請日: | 2017-10-24 |
| 公開(公告)號: | CN107742618B | 公開(公告)日: | 2020-07-03 |
| 發明(設計)人: | 徐元杰;高山 | 申請(專利權)人: | 京東方科技集團股份有限公司;成都京東方光電科技有限公司 |
| 主分類號: | H01L21/77 | 分類號: | H01L21/77;H01L27/12 |
| 代理公司: | 北京潤澤恒知識產權代理有限公司 11319 | 代理人: | 莎日娜 |
| 地址: | 100015 *** | 國省代碼: | 北京;11 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 柔性 面板 制備 方法 顯示裝置 | ||
本發明公開一種柔性面板的制備方法,包括:提供一個基底,所述基底的第一表面上分布有孔洞;在所述孔洞中填充反應物質;在所述基底的所述第一表面上形成柔性襯底;在所述柔性襯底上形成顯示器件層;對所述反應物質進行處理,使所述反應物質發生化學變化和/或物理變化,在所述基底的所述第一表面與所述柔性襯底之間形成間隙。采用該方法制備柔性面板,工藝簡單,柔性襯底與基底容易分離,不會造成柔性襯底的破壞導致顯示不良,且基底可以重復利用,有利于量產,節省材料。
技術領域
本發明涉及顯示技術領域,特別是涉及一種柔性面板的制備方法、柔性面板及顯示裝置。
背景技術
隨著顯示技術的發展,柔性顯示面板逐步被應用在顯示技術領域,用于柔性顯示面板具有超薄、質量輕、耐用、存量大、設計自由、可收卷等優點,近年來,柔性顯示技術取得巨大進步,被廣泛應用于顯示產品上。
在柔性面板的制備過程中,需要先將柔性襯底粘附在玻璃基板上,再在柔性襯底上形成柔性顯示面板的其他結構,最后再進行剝離。但是現有的剝離工藝,容易對柔性襯底造成破壞,或者在柔性襯底表面形成過多的殘留物等,影響柔性面板器件的電學性能,造成良率下降等問題。
發明內容
本發明提供了一種柔性面板的制備方法、柔性面板及顯示裝置,以解決現有技術中柔性襯底與基板難以分離,易造成顯示不良的問題。
第一方面,本發明提供一種柔性面板的制備方法,包括:提供一個基底,所述基底的第一表面上分布有孔洞;
在所述孔洞中填充反應物質;
在所述基底的所述第一表面上形成柔性襯底;
在所述柔性襯底上形成顯示器件層;
對所述反應物質進行處理,使所述反應物質發生化學變化和/或物理變化,在所述基底的所述第一表面與所述柔性襯底之間形成間隙。
可選地,所述反應物質包括有機物和催化劑。
可選地,所述基底為催化劑材料做成的基底,所述反應物質為有機物。
可選地,對所述反應物質進行處理,使所述反應物質發生化學變化和/或物理變化,在所述基底的所述第一表面與所述柔性襯底之間形成間隙,包括:
對所述反應物質進行光照,使所述反應物質分解產生氣體,在所述基底的所述第一表面與所述柔性襯底之間形成間隙。
可選地,所述反應物質為可伸縮物質。
可選地,對所述反應物質進行處理,使所述反應物質發生化學變化和/或物理變化,在所述基底的所述第一表面與所述柔性襯底之間形成間隙,包括:
對所述可伸縮物質進行處理,使所述可伸縮物質收縮,在所述基底的所述第一表面與所述柔性襯底之間形成間隙。
可選地,所述可伸縮物質為電致伸縮物質或磁致伸縮物質或光致伸縮物質。
可選地,所述基底為介孔基底。
第二方面,本發明還提供了一種柔性面板,所述柔性面板采用上述方法制備形成。
第三方面,本發明還提供了一種顯示裝置,包括上述柔性面板。
與現有技術相比,本發明實施例具有以下優點:
本發明實施例的柔性面板的制備方法,在基底的孔洞中填充反應物質,對反應物質進行作用,使反應物質發生化學變化和/或物理變化,可以在基底的具有孔洞的第一表面與柔性襯底之間形成間隙,從而使柔性襯底與基底分離,采用該方法制備柔性面板,工藝簡單,柔性襯底與基底容易分離,不會造成柔性襯底的破壞導致顯示不良,且基底可以重復利用,有利于量產,節省材料。
附圖說明
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H01L 半導體器件;其他類目中不包括的電固體器件
H01L21-00 專門適用于制造或處理半導體或固體器件或其部件的方法或設備
H01L21-02 .半導體器件或其部件的制造或處理
H01L21-64 .非專門適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個器件所使用的除半導體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
H01L21-66 .在制造或處理過程中的測試或測量
H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過程中處理半導體或電固體器件的裝置;專門適合于在半導體或電固體器件或部件的制造或處理過程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內或其上形成的多個固態組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理;集成電路器件或其特殊部件的制造





