[發明專利]疊對監測及控制方法在審
| 申請號： | 201710984884.2 | 申請日： | 2017-10-20 |
| 公開（公告）號： | CN108227394A | 公開（公告）日： | 2018-06-29 |
| 發明（設計）人： | 胡維民;張仰宏;陳開雄;胡浚明;柯志明 | 申請（專利權）人： | 臺灣積體電路制造股份有限公司 |
| 主分類號： | G03F7/20 | 分類號： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 隆天知識產權代理有限公司 72003 | 代理人： | 李昕巍;章侃銥 |
| 地址： | 中國臺*** | 國省代碼： | 中國臺灣;71 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 過濾操作 圖案化 機臺 疊對補償 誤差集合 場域 基板 晶圓 監測 噪聲 過濾 補償程序 程序校正 動態前饋 光刻曝光 誤差分類 誤差識別 映射 高階 制程 應用 | ||
【權利要求書】：
1.一種疊對監測及控制方法，包括：
通過一圖案化機臺，圖案化一基板；
從上述基板上的多個場域，收集多個疊對誤差；
從上述疊對誤差識別噪聲，其中上述識別噪聲的步驟包括應用一第一過濾操作以及不同于上述第一過濾操作的一第二過濾操作；
分類未被識別為噪聲的上述疊對誤差到一過濾后的疊對誤差集合；
基于上述過濾后的疊對誤差集合，計算一疊對補償；以及
依據上述疊對補償，對上述圖案化機臺執行一補償程序。
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