[發(fā)明專利]基底處理系統(tǒng)、存儲(chǔ)介質(zhì)及數(shù)據(jù)處理方法

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201710984694.0
• 申請(qǐng)日: 2017-10-20
• 公開（公告）號(hào): CN108121282B
• 公開（公告）日: 2022-05-24
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 大森拓
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: ASMIP控股有限公司
• 主分類號(hào): G05B19/05
• 分類號(hào): G05B19/05
• 代理公司: 北京匯信合知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11335
• 代理人: 翟國明

1.一種基底處理系統(tǒng)，包括：

模塊控制器，其創(chuàng)建日志文件，其中對(duì)應(yīng)于采樣操作數(shù)據(jù)的定時(shí)的數(shù)據(jù)計(jì)數(shù)被添加至模塊的在預(yù)定的采樣周期中采樣的操作數(shù)據(jù)；

主控制裝置，其連接至所述模塊控制器，從所述模塊控制器接收所述日志文件以及指示包括在所述日志文件中的操作數(shù)據(jù)的收集開始所處的時(shí)刻的開始時(shí)間信息，將所述數(shù)據(jù)計(jì)數(shù)從所述開始時(shí)間信息轉(zhuǎn)換為時(shí)間戳，并且創(chuàng)建包括所述時(shí)間戳和所述操作數(shù)據(jù)的數(shù)據(jù)文件；以及

主計(jì)算機(jī)，其接收從所述主控制裝置提供的所述數(shù)據(jù)文件；

其中，模塊控制器在比預(yù)定采樣周期長(zhǎng)的周期內(nèi)采樣附加操作數(shù)據(jù)。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基底處理系統(tǒng)，其中，所述采樣周期為10毫秒或以下。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基底處理系統(tǒng)，其中，所述操作數(shù)據(jù)為反應(yīng)室的射頻數(shù)據(jù)。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基底處理系統(tǒng)，其中，所述操作數(shù)據(jù)為填充有氣體的瓶與反應(yīng)室之間的管中的壓力。

5.根據(jù)權(quán)利要求1至4中任一項(xiàng)所述的基底處理系統(tǒng)，進(jìn)一步包括：

可編程邏輯控制器，其在所述采樣周期中采樣所述操作數(shù)據(jù)；

連接線路，其將所述可編程邏輯控制器與所述模塊連接；以及

ADS板，其將所述模塊控制器與所述模塊連接，

其中，所述可編程邏輯控制器將所述操作數(shù)據(jù)共同地發(fā)送至所述模塊控制器。

6.根據(jù)權(quán)利要求1至4中任一項(xiàng)所述的基底處理系統(tǒng)，進(jìn)一步包括：

記錄單元，其在所述采樣周期中采樣所述操作數(shù)據(jù)；以及

連接線路，其將所述記錄單元與所述模塊連接，

其中，所述模塊控制器將配方數(shù)據(jù)發(fā)送至所述記錄單元，并且

所述記錄單元根據(jù)所述配方數(shù)據(jù)改變所述采樣周期。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的基底處理系統(tǒng)，

其中，所述配方數(shù)據(jù)包括合并有記錄開始標(biāo)記的第一步驟以及合并有記錄結(jié)束標(biāo)記的第二步驟，并且

所述記錄單元從所述第一步驟至所述第二步驟記錄所述操作數(shù)據(jù)。

8.一種計(jì)算機(jī)可讀的存儲(chǔ)介質(zhì)，其記錄程序，所述程序使計(jì)算機(jī)執(zhí)行：

日志文件創(chuàng)建步驟，創(chuàng)建日志文件，其中對(duì)應(yīng)于采樣操作數(shù)據(jù)的定時(shí)的數(shù)據(jù)計(jì)數(shù)被添加至模塊的在預(yù)定的采樣周期中采樣的操作數(shù)據(jù)；

數(shù)據(jù)文件創(chuàng)建步驟：將數(shù)據(jù)計(jì)數(shù)從開始時(shí)間信息轉(zhuǎn)換為時(shí)間戳，所述開始時(shí)間信息指示包括在日志文件中的操作數(shù)據(jù)的收集開始所處的時(shí)刻并且創(chuàng)建包括時(shí)間戳和操作數(shù)據(jù)的數(shù)據(jù)文件；以及

發(fā)送步驟：將所述數(shù)據(jù)文件發(fā)送至主計(jì)算機(jī)；

其中，所述程序根據(jù)配方改變所述采樣周期。

9.一種數(shù)據(jù)處理方法，包括：

在預(yù)定的采樣周期中獲取模塊的操作數(shù)據(jù)的步驟；

創(chuàng)建日志文件的步驟，其中對(duì)應(yīng)于采樣操作數(shù)據(jù)的定時(shí)的數(shù)據(jù)計(jì)數(shù)被添加至操作數(shù)據(jù)；

將數(shù)據(jù)計(jì)數(shù)從開始時(shí)間信息轉(zhuǎn)換為時(shí)間戳，所述開始時(shí)間信息指示包括在日志文件中的操作數(shù)據(jù)的收集開始所處的時(shí)刻，并且創(chuàng)建包括時(shí)間戳和操作數(shù)據(jù)的數(shù)據(jù)文件的步驟；以及

將數(shù)據(jù)文件發(fā)送至主計(jì)算機(jī)的步驟；

實(shí)時(shí)監(jiān)控在比預(yù)定采樣周期長(zhǎng)的周期內(nèi)采樣的附加操作數(shù)據(jù)的步驟。

10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的數(shù)據(jù)處理方法，其中，所述采樣周期根據(jù)配方而改變。