[發(fā)明專利]基板供給裝置的控制方法及基板供給回收裝置的控制方法

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201710979680.X
• 申請(qǐng)日: 2017-10-19
• 公開（公告）號(hào): CN108100666A
• 公開（公告）日: 2018-06-01
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 近藤仁
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 日本電產(chǎn)三協(xié)株式會(huì)社
• 主分類號(hào): B65G49/06
• 分類號(hào): B65G49/06;B65G43/00;G02F1/13
• 代理公司: 上海專利商標(biāo)事務(wù)所有限公司 31100
• 代理人: 沈捷

1.一種基板供給裝置的控制方法，其中，所述基板供給裝置包括：

基板供給單元，所述基板供給單元包括載置部、升降機(jī)構(gòu)和多個(gè)搬運(yùn)輥，其中，所述載置部供收容有多塊玻璃基板的鋼絲盒載置，所述升降機(jī)構(gòu)使所述載置部升降，多個(gè)所述搬運(yùn)輥以與所述玻璃基板的下表面接觸的方式對(duì)所述玻璃基板進(jìn)行搬運(yùn)；以及

基板保留單元，所述基板保留單元具有第二載置部、第二升降機(jī)構(gòu)和多個(gè)第二搬運(yùn)輥，其中，所述第二載置部供收容有多塊所述玻璃基板的第二鋼絲盒載置，所述第二升降機(jī)構(gòu)使所述第二載置部升降，多個(gè)所述第二搬運(yùn)輥以與所述玻璃基板的下表面接觸的方式對(duì)所述玻璃基板進(jìn)行搬運(yùn)，所述基板保留單元配置在所述基板供給單元與對(duì)所述玻璃基板進(jìn)行規(guī)定處理的處理線之間，

所述基板供給裝置將所述玻璃基板供給至所述處理線，

所述基板供給裝置的控制方法的特征在于，

當(dāng)將收容在所述鋼絲盒的多塊所述玻璃基板中的、不需要由所述處理線進(jìn)行處理的所述玻璃基板設(shè)為第一玻璃基板，將收容在所述鋼絲盒的多塊所述玻璃基板中的、所述第一玻璃基板之外的、需要由所述處理線進(jìn)行處理的所述玻璃基板設(shè)為第二玻璃基板時(shí)，

進(jìn)行所述鋼絲盒的下降動(dòng)作、所述搬運(yùn)輥及所述第二搬運(yùn)輥的搬運(yùn)動(dòng)作、所述第二鋼絲盒的上升動(dòng)作，在將配置在比所述第二玻璃基板靠下側(cè)的位置的所述第一玻璃基板收容在所述第二鋼絲盒中之后，進(jìn)行所述鋼絲盒的下降動(dòng)作、所述搬運(yùn)輥及所述第二搬運(yùn)輥的搬運(yùn)動(dòng)作，將所述第二玻璃基板供給至所述處理線。

2.一種基板供給回收裝置的控制方法，其中，所述基板供給回收裝置包括：

基板供給回收單元，所述基板供給回收單元包括載置部、升降機(jī)構(gòu)和多個(gè)搬運(yùn)輥，其中，所述載置部供收容有多塊玻璃基板的鋼絲盒載置，所述升降機(jī)構(gòu)使所述載置部升降，多個(gè)所述搬運(yùn)輥以與所述玻璃基板的下表面接觸的方式對(duì)所述玻璃基板進(jìn)行搬運(yùn)；以及

基板保留供給單元，所述基板保留供給單元具有第二載置部、第二升降機(jī)構(gòu)和多個(gè)第二搬運(yùn)輥，其中，所述第二載置部供收容有多塊所述玻璃基板的第二鋼絲盒載置，所述第二升降機(jī)構(gòu)使所述第二載置部升降，多個(gè)所述第二搬運(yùn)輥以與所述玻璃基板的下表面接觸的方式對(duì)所述玻璃基板進(jìn)行搬運(yùn)，所述基板保留供給單元配置在所述基板供給回收單元與對(duì)所述玻璃基板進(jìn)行規(guī)定處理的處理線之間，

所述基板供給回收裝置向所述處理線供給所述玻璃基板或從所述處理線回收所述玻璃基板，

所述基板供給回收裝置的控制方法的特征在于，

當(dāng)在所述載置部載置有所述鋼絲盒時(shí)，進(jìn)行所述鋼絲盒的下降動(dòng)作、所述搬運(yùn)輥及所述第二搬運(yùn)輥的搬運(yùn)動(dòng)作、所述第二鋼絲盒的上升動(dòng)作，將收容在所述鋼絲盒的所有所述玻璃基板依次收容在所述第二鋼絲盒中，隨后，進(jìn)行所述搬運(yùn)輥及所述第二搬運(yùn)輥的搬運(yùn)動(dòng)作、所述鋼絲盒的上升動(dòng)作，將從所述處理線排出的所述玻璃基板依次收容在所述鋼絲盒中，并且進(jìn)行所述第二鋼絲盒的下降動(dòng)作、所述第二搬運(yùn)輥的搬運(yùn)動(dòng)作，將收容在所述第二鋼絲盒的所述玻璃基板依次供給至所述處理線。