[發明專利]一種鎢涂層的制備方法在審
| 申請號： | 201710971968.2 | 申請日： | 2017-10-18 |
| 公開（公告）號： | CN109680258A | 公開（公告）日： | 2019-04-26 |
| 發明（設計）人： | 劉國輝;張丹華;秦思貴;于宏新 | 申請（專利權）人： | 安泰科技股份有限公司 |
| 主分類號： | C23C16/14 | 分類號： | C23C16/14;C23C16/56 |
| 代理公司： | 北京五洲洋和知識產權代理事務所(普通合伙) 11387 | 代理人： | 劉春成;榮紅穎 |
| 地址： | 100081 *** | 國省代碼： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 鎢涂層 制備 精加工步驟 基體工件 加工步驟 氣相沉積 熱等靜壓 生產 | ||
【權利要求書】：
1.一種鎢涂層的制備方法，其特征在于，包括：
基體工件的加工步驟，按照實際要求加工需要涂層的基體工件；
CVD氣相沉積步驟，利用鎢源對所述基體工件的表面進行CVD氣相沉積處理，以得到具有所需厚度鎢涂層的工件；
熱等靜壓處理步驟，將沉積有鎢涂層的工件進行熱等靜壓處理。
2.根據權利要求1所述的鎢涂層的制備方法，其特征在于，所述基體工件的材質為無氧銅或鎳合金。
3.根據權利要求1所述的鎢涂層的制備方法，其特征在于，所述CVD氣相沉積處理的溫度為400-700℃，沉積時間為30-150分鐘。
4.根據權利要求1所述的鎢涂層的制備方法，其特征在于，所述熱等靜壓處理的溫度為600～1050℃，壓力為30-200MPa，保溫保壓時間為0.5-3h。
5.根據權利要求1所述的鎢涂層的制備方法，其特征在于，所述鎢源為六氟化鎢。
6.根據權利要求1所述的鎢涂層的制備方法，其特征在于，所述制備方法還包括精加工步驟，對所述熱等靜壓處理后的工件進行精確加工，以滿足尺寸要求。
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C23 對金屬材料的鍍覆；用金屬材料對材料的鍍覆；表面化學處理；金屬材料的擴散處理；真空蒸發法、濺射法、離子注入法或化學氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制
C23C 對金屬材料的鍍覆；用金屬材料對材料的鍍覆；表面擴散法，化學轉化或置換法的金屬材料表面處理；真空蒸發法、濺射法、離子注入法或化學氣相沉積法的一般鍍覆
C23C16-00 通過氣態化合物分解且表面材料的反應產物不留存于鍍層中的化學鍍覆，例如化學氣相沉積
C23C16-01 .在臨時基體上，例如在隨后通過浸蝕除去的基體上
C23C16-02 .待鍍材料的預處理
C23C16-04 .局部表面上的鍍覆，例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金屬材料的沉積為特征的
C23C16-22 .以沉積金屬材料以外之無機材料為特征的
C23C 對金屬材料的鍍覆；用金屬材料對材料的鍍覆；表面擴散法，化學轉化或置換法的金屬材料表面處理；真空蒸發法、濺射法、離子注入法或化學氣相沉積法的一般鍍覆
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