[發明專利]一種硬質合金表面沉積的SiC涂層

在審

• 申請號: 201710960444.3
• 申請日: 2017-10-16
• 公開（公告）號: CN109666919A
• 公開（公告）日: 2019-04-23
• 發明（設計）人: 馬曉偉
• 申請（專利權）人: 馬曉偉
• 主分類號: C23C16/32
• 分類號: C23C16/32;C23C16/44
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種硬質合金表面沉積的SiC涂層的制備原料包括：YG6硬質合金銑刀片。

2.根據權利要求1所述的硬質合金表面沉積的SiC涂層，其特征是硬質合金表面沉積的SiC涂層的制備步驟為：將原料按實驗設計方案稱重、配料，配好后采用金剛石粉對其進行研磨，隨后進行超聲波清洗，將經過預處理的試樣放入HCDCACVD裝置進行涂層沉積，沉積工藝參數為：直流電弧電流134A，磁場線圈電流15A，沉積時間210min，沉積壓力700Pa，基片溫度約為1050℃。

3.根據權利要求1所述的硬質合金表面沉積的SiC涂層，其特征是硬質合金表面沉積的SiC涂層的檢測步驟為：顯微形貌及化學成分使用掃描電子顯微鏡和電子能譜儀分析，物相分析采用X射線衍射，涂層附著力采用WS005型涂層劃痕測試儀測試，劃痕形貌采用掃描電鏡對觀察。

4.根據權利要求1所述的硬質合金表面沉積的SiC涂層，其特征是所述的硬質合金表面沉積的SiC涂層，其與YG6硬質合金冶金結合良好，密度、化學成分分布均勻，力學性能優異，所述的硬質合金表面沉積的SiC涂層，沉積壓力對SiC涂層的力學性能有一定的影響，SiC涂層的致密性隨著沉積壓力的增大而增大，當沉積壓力增大到一定程度時，涂層的致密性不再發生變化，所述的硬質合金表面沉積的SiC涂層，SiC涂層能夠有效地抑制硬質合金中Co的擴散，消除Co在金剛石涂層沉積過程中的不利影響，獲得附著力良好的納米金剛石涂層。