[發明專利]一種低污染環保型化學機械拋光液在審
| 申請號： | 201710956940.1 | 申請日： | 2017-10-16 |
| 公開（公告）號： | CN109666409A | 公開（公告）日： | 2019-04-23 |
| 發明（設計）人： | 宋叢愷 | 申請（專利權）人： | 青島凱玉盈商貿有限公司 |
| 主分類號： | C09G1/02 | 分類號： | C09G1/02 |
| 代理公司： | 暫無信息 | 代理人： | 暫無信息 |
| 地址： | 266700 山東省青島市平度市*** | 國省代碼： | 山東;37 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 化學機械拋光液 低污染 環保型 乙二胺四乙酸 三聚磷酸鈉 苯甲酸鈉 個數量級 磷酸二銨 氫氧化鋁 四硼酸鈉 液態石蠟 硬脂酰胺 草酸鈉 氮化硼 環保性 平整度 污染性 氧化鈰 異丙醇 質量份 拋光 | ||
【權利要求書】：
1.一種低污染環保型化學機械拋光液，其特征在于：由以下質量份數的原料制成：
四硼酸鈉11-15份，異丙醇3-6份，氮化硼6-7份，苯甲酸鈉5-7份，氧化鈰12-18份，氫氧化鋁1-4份，硬脂酰胺6-9份，磷酸二銨5-7份，三聚磷酸鈉3-4份，液態石蠟9-12份，乙二胺四乙酸6-8份，草酸鈉4-6份。
2.根據權利要求1所述的低污染環保型化學機械拋光液，其特征在于：由以下質量份數的原料制成：
四硼酸鈉13份，異丙醇5份，氮化硼6.4份，苯甲酸鈉6份，氧化鈰15份，氫氧化鋁2份，硬脂酰胺8份，磷酸二銨6份，三聚磷酸鈉3.5份，液態石蠟11份，乙二胺四乙酸7份，草酸鈉5份。
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