[發(fā)明專利]掩模盒

在審

• 申請?zhí)枺?/td>: 201710946783.6
• 申請日: 2017-10-12
• 公開（公告）號: CN108149189A
• 公開（公告）日: 2018-06-12
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 梁落云
• 申請（專利權(quán)）人: 成進(jìn)半導(dǎo)體技術(shù)有限公司
• 主分類號: C23C14/04
• 分類號: C23C14/04;C23C14/24
• 代理公司: 北京弘權(quán)知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 11363
• 代理人: 郭放;許偉群

根據(jù)一個實(shí)施方式的掩模盒包括：插槽形成部，用于裝載掩模；上部框架，用于蓋住上述插槽形成部的上部；下部框架，設(shè)置于上述插槽形成部的下部；側(cè)面框架，沿著上下方向延伸并連接于上述上部框架與上述下部框架之間，用于支撐上述插槽形成部；以及襯墊，與上述插槽形成部的上部面相結(jié)合，并與上述掩模相接觸，由強(qiáng)度高于上述插槽形成部的材料形成。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及掩模盒。

背景技術(shù)

作為平板顯示元件中的一種的有機(jī)電致發(fā)光顯示器(OLED，Organic LightEmitting Display)為通過有機(jī)物的自發(fā)光來實(shí)現(xiàn)彩色圖像的超輕薄型顯示設(shè)備，其結(jié)構(gòu)簡單且光效率高，因此，作為下一代有前途的顯示設(shè)備備受關(guān)注。

為了實(shí)現(xiàn)全彩(full color)，有機(jī)電致發(fā)光顯示器需對發(fā)光層進(jìn)行圖案化，在此情況下，可采用諸如利用精細(xì)金屬掩模(FMM，F(xiàn)ine Metal Mask，以下稱為“掩?！?的直接圖案化方式、采用激光感熱成像(LITI，Laser Induced Thermal Imaging)工藝的方式、利用濾色器(color filter)的方式等。

當(dāng)采用掩模方式來制造大型OLED時，可采用在腔室內(nèi)水平配置基板和經(jīng)圖案化(patterning)的掩模后進(jìn)行蒸鍍的所謂水平式向上蒸鍍工藝。根據(jù)水平式向上蒸鍍工藝，在使相對于腔室等的底面水平配置的基板和掩模相互對準(zhǔn)后接合，在水平狀態(tài)下向大型基板蒸鍍有機(jī)物。

為了在腔室內(nèi)對基板和掩模進(jìn)行蒸鍍，需向腔室內(nèi)部供給掩模，此時，掩模在裝載于盒(cassette)內(nèi)的狀態(tài)下以盒狀態(tài)供給。

在作為現(xiàn)有文獻(xiàn)的韓國公開專利公報第10-2013-0078373號中公開了“盒操作裝置及包括它的盒供給系統(tǒng)”。

在上述現(xiàn)有文獻(xiàn)中所公開的盒為用于裝載多個掩模的一種框架，在一個盒中配置多張掩模。此外，上述盒中設(shè)置有支撐每個掩模的多個插槽形成部。

另一方面，在以往的盒中，當(dāng)將掩模裝載于插槽形成部時，在插槽形成部中因與掩模的摩擦而產(chǎn)生的微粒(particle)會附著于掩模，這將導(dǎo)致在掩模圖案化過程中出現(xiàn)次品。

此外，在將掩模裝載于盒之前，需要進(jìn)行利用水清洗盒的工序，在以往的盒中，清洗后殘留在盒表面的水會與掩模相接觸，這將導(dǎo)致在掩模圖案化過程中出現(xiàn)次品。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明的目的在于，提供如下的掩模盒：可通過在插槽形成部設(shè)置襯墊，來解決在將掩模裝載于插槽形成部時在插槽形成部中產(chǎn)生微粒的問題。

此外，本發(fā)明的目的在于，提供如下的掩模盒：顯著減少在圖案化過程中所產(chǎn)生的次品率。

此外，本發(fā)明的目的在于，提供如下的掩模盒：通過在盒中形成有排水水路，使清洗盒后所殘留的水分順暢地排出，從而可防止在掩模圖案化的過程中因水分而產(chǎn)生的次品。

根據(jù)一個實(shí)施方式的掩模盒包括：插槽形成部，掩模裝載于上述插槽形成部；上部框架，用于蓋住上述插槽形成部的上部；下部框架，設(shè)置于上述插槽形成部的下部；側(cè)面框架，向上下方向延伸并連接于上述上部框架與上述下部框架之間，用于支撐上述插槽形成部；以及襯墊，與上述插槽形成部的上部面相結(jié)合，并與上述掩模相接觸，由強(qiáng)度高于上述插槽形成部的材料形成，上述插槽形成部包括：本體部，配置于上述掩模的兩側(cè)下部；延伸部，從上述本體部的兩側(cè)端部朝向內(nèi)側(cè)向水平方向延伸；以及擋止部，在上述插槽形成部的兩側(cè)端部朝向上側(cè)突出，用于防止上述掩模的移動，上述襯墊包括：前方襯墊及后方襯墊，分別設(shè)置于上述插槽形成部的前方和后方；以及中間襯墊，設(shè)置于上述插槽形成部的中間，在上述襯墊的底面部設(shè)置有用于與上述插槽形成部相結(jié)合的連接部件，上述連接部件壓入于上述襯墊的底面部與上述襯墊相結(jié)合，上述襯墊的上部面維持平面狀態(tài)。

附圖說明

圖1為根據(jù)本發(fā)明一個實(shí)施例的掩模盒的立體圖。