[發(fā)明專利]運(yùn)用電機(jī)編碼器信號信息的激光系統(tǒng)

在審

• 申請?zhí)枺?/td>: 201710935005.7
• 申請日: 2017-10-10
• 公開（公告）號: CN109434279A
• 公開（公告）日: 2019-03-08
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 徐相俊;金賢哲;李章熙
• 申請（專利權(quán)）人: HB技術(shù)有限公司
• 主分類號: B23K26/08
• 分類號: B23K26/08;B23K26/70
• 代理公司: 北京冠和權(quán)律師事務(wù)所 11399
• 代理人: 朱健;陳國軍

本發(fā)明在通過激光系統(tǒng)進(jìn)行修補(bǔ)(repair)加工時，執(zhí)行將平臺或激光頭以一定速度移動并修補(bǔ)(repair)加工作業(yè)，所述平臺或激光頭具有通過電機(jī)驅(qū)動而達(dá)到一定速度的加速運(yùn)行區(qū)間、保持所述一定速度的定速運(yùn)行區(qū)間、由所述一定速度停止電機(jī)驅(qū)動的減速運(yùn)行區(qū)間，并在所述定速運(yùn)行區(qū)間內(nèi)進(jìn)行激光修補(bǔ)(repair)加工，以用于進(jìn)行缺口區(qū)間的均勻的激光修補(bǔ)(repair)加工。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及激光系統(tǒng)，更具體地涉及一種在對光掩模(Photo mask)、液晶顯示屏(LCD)及有機(jī)發(fā)光二極管(OLED)的薄膜晶體管(TFT)配線或PC等玻璃(glass)的結(jié)合利用激光而修補(bǔ)時，精密穩(wěn)定地控制激光的激光系統(tǒng)。

背景技術(shù)

顯示屏(displaypanel)市場由過去的LCD等形式轉(zhuǎn)換為OLED，由此，與此對應(yīng)，激光修補(bǔ)(laser repair)市場也向要求更精密的工藝形式發(fā)展。

利用激光修補(bǔ)基板(Photo mask、LCD及OLED的TFT配線或PC等玻璃)的結(jié)合時，一般而言，激光是一種由激光二極管(LD)或閃光燈(flash lamp)激發(fā)Nd:YAG等石棒(rod)而進(jìn)行振蕩的形式的納米飛秒(nano～femto)級的脈沖激光(pulselaser)。

該脈沖激光的大部分在支持外部信號(externaltrigger)控制功能，使用脈沖發(fā)生器(pulsegenerator)或使用通過RS232communication而控制的方式，因而，激光以規(guī)則的頻率振蕩。

對于該控制方式，在激光或平臺(stage)靜止的狀態(tài)下，提供正常的工藝環(huán)境，但激光切割(lasercutting)等修補(bǔ)(repair)加工因必須移動激光頭或平臺，由此，存在獲得不均勻的修補(bǔ)(repair)加工部分。

即，如圖1顯示所示，將激光頭或平臺按X-Y軸移動并執(zhí)行激光修補(bǔ)(repair)加工，由此，通過電機(jī)驅(qū)動而具有所謂的加速運(yùn)行、定速運(yùn)行、減速運(yùn)行區(qū)間的相互不同的三種速度區(qū)間，由此，通過有規(guī)律地進(jìn)行振蕩的激光而導(dǎo)致不均勻的修補(bǔ)(repair)加工。

發(fā)明內(nèi)容

發(fā)明要解決的技術(shù)問題

本發(fā)明是為了解決上述問題而研發(fā)，其目的為提供一種運(yùn)用電機(jī)的編碼器信號信息而控制激光振蕩，由此進(jìn)行均勻的修補(bǔ)(repair)加工的激光系統(tǒng)。

但本發(fā)明的目的并非限制于上述言及的目的，未言及的或其它目的通過下面記載而使本領(lǐng)域技術(shù)人員明確理解。

用于解決問題的技術(shù)方案

為了實(shí)現(xiàn)所述目的，本發(fā)明涉及一種具有供安裝存在缺口的基板的平臺與向所述基板射出激光的激光頭，由此，修補(bǔ)(repair)所述基板的缺口的激光系統(tǒng)，該激光系統(tǒng)，具有電機(jī)，分別將所述平臺或激光頭以X軸或Y軸方向移動，以使所述平臺或激光頭沿著所述基板的缺口區(qū)間，而以規(guī)定速度移動，并執(zhí)行修補(bǔ)(repair)加工。

并且，所述平臺或激光頭通過所述各個電機(jī)驅(qū)動移動時，具有：達(dá)到所述一定速度的加速運(yùn)行區(qū)間；保持所述一定速度的定速運(yùn)行區(qū)間；由所述一定速度停止電機(jī)驅(qū)動的減速運(yùn)行區(qū)間。

而且，所述修補(bǔ)(repair)加工僅在所述定速運(yùn)行區(qū)間內(nèi)進(jìn)行。

另外，在所述各個電機(jī)安裝檢測電機(jī)旋轉(zhuǎn)軸的旋轉(zhuǎn)角度及轉(zhuǎn)數(shù)的編碼器。

并且，所述激光系統(tǒng)具有按通過所述編碼器的檢測信號信息而輸入的脈沖(pulse)檢測周期逐漸增加的情況下的所述加速運(yùn)行區(qū)間、所述輸入的脈沖檢測周期相同情況下的所述定速運(yùn)行區(qū)間及所述輸入的脈沖檢測周期逐漸減小的情況下的減速運(yùn)行區(qū)間區(qū)分的控制部。

而且，所述激光系統(tǒng)具有控制使得在所述激光頭形成激光振蕩的激光控制器(controller)。