[發(fā)明專(zhuān)利]芯片電子部件的電特性的連續(xù)檢查方法

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201710907630.0
• 申請(qǐng)日: 2017-09-29
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN107887288B
• 公開(kāi)（公告）日: 2023-03-31
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 林央人
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 慧萌高新科技有限公司
• 主分類(lèi)號(hào): H01L21/66
• 分類(lèi)號(hào): H01L21/66
• 代理公司: 中國(guó)專(zhuān)利代理(香港)有限公司 72001
• 代理人: 閆小龍;鄭冀之

本發(fā)明涉及芯片電子部件的電特性的連續(xù)檢查方法。利用多個(gè)工序減少在測(cè)定芯片電子部件的電特性時(shí)產(chǎn)生的電極表面的擦傷，同時(shí)提高電特性測(cè)定的可靠性，所述多個(gè)工序包含：在輸送板的透孔中臨時(shí)收容芯片電子部件以使末端電極的一個(gè)位于頂部而另一個(gè)位于底部，使輸送板沿著其板平面移動(dòng)到電特性測(cè)定位置，使包含滾輪電極端子的電特性測(cè)定用端子與芯片電子部件的兩個(gè)電極接觸并向芯片電子部件的兩個(gè)電極施加電壓來(lái)測(cè)定芯片電子部件的電特性，而且通過(guò)使輸送板進(jìn)一步移動(dòng)來(lái)使芯片電子部件從電特性測(cè)定位置離開(kāi)。芯片電子部件進(jìn)行移動(dòng)而在與滾輪電極端子接觸時(shí)，使?jié)L輪電極端子定位以使與芯片電子部件的頂部電極的一個(gè)角部接觸，在電特性測(cè)定后，以不與芯片電子部件的頂部電極的另一個(gè)角部接觸的方式使?jié)L輪電極端子向從輸送板的表面離開(kāi)的方向移動(dòng)。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及使用自動(dòng)化的芯片電子部件檢查分選裝置高速且連續(xù)地對(duì)大量的芯片電子部件的電特性進(jìn)行檢查的方法。

背景技術(shù)

伴隨著便攜式電話(huà)、智能電話(huà)、液晶電視機(jī)、電子游戲機(jī)等小型電子設(shè)備的生產(chǎn)量的增加，組入到這樣的電子設(shè)備中的微小的芯片電子部件的生產(chǎn)量顯著增加。芯片電子部件的大部分由主體部、以及在主體部的相向的兩個(gè)端面的每一個(gè)具備的電極形成。作為這樣的結(jié)構(gòu)的芯片電子部件的例子，能夠舉出芯片電容器（也被稱(chēng)為芯片電容）、芯片電阻器（包含芯片變阻器）和芯片電感。

近年來(lái)，響應(yīng)于組入有芯片電子部件的電子設(shè)備的進(jìn)一步的小型化以及組入到電子設(shè)備中的芯片電子部件的數(shù)量的增加，芯片電子部件變得極其小。例如，關(guān)于芯片電容器，近年來(lái)使用極其小的尺寸（例如，被稱(chēng)為0402芯片的0.2mm×0.2mm×0.4mm的尺寸）的芯片電容器，這樣的微小的芯片電子部件通過(guò)大量生產(chǎn)以一批量為幾萬(wàn)~幾十萬(wàn)個(gè)這樣的單位而被生產(chǎn)。

為了降低在組入有芯片電子部件的電子設(shè)備中起因于組入的芯片電子部件的缺陷的電子設(shè)備的廢品率，通常對(duì)大量生產(chǎn)的芯片電子部件進(jìn)行全數(shù)檢查。例如，關(guān)于用作制品的芯片電容器，對(duì)其全數(shù)進(jìn)行靜電電容或泄漏電流等電特性的檢查。

大量的芯片電子部件的電特性的檢查需要高速地進(jìn)行，作為用于自動(dòng)地進(jìn)行該高速的檢查的裝置，近年來(lái)，通常使用具備形成有許多透孔的芯片電子部件輸送圓盤(pán)（圓盤(pán)狀芯片電子部件輸送板）的芯片電子部件的電特性的檢查用的自動(dòng)化裝置（即，芯片電子部件檢查裝置）。在芯片電子部件輸送圓盤(pán)（以后，有時(shí)僅稱(chēng)為輸送圓盤(pán)）中，通常在沿著圓周以三列以上的多個(gè)列排列的狀態(tài)下形成暫時(shí)收容保持檢查對(duì)象的芯片電子部件的許多透孔。而且，在該芯片電子部件檢查分選裝置的使用時(shí)，在使芯片電子部件暫時(shí)收容保持于處于間歇性的旋轉(zhuǎn)下的輸送圓盤(pán)的透孔之后，使沿著輸送圓盤(pán)的旋轉(zhuǎn)路徑附設(shè)的一對(duì)電極端子（檢查用觸頭）與芯片電子部件的各電極接觸來(lái)將規(guī)定的電壓施加到保持于該輸送圓盤(pán)的芯片電子部件，進(jìn)行對(duì)該芯片電子部件的電特性進(jìn)行測(cè)定的作業(yè)。

例如，在進(jìn)行芯片電容器的靜電電容的檢查的情況下，在電特性檢查部中，從芯片電子部件檢查分選裝置所具備的檢查器（電特性測(cè)定裝置）經(jīng)由檢查用電極端子對(duì)芯片電容器施加具有規(guī)定的頻率的檢查用電壓。然后，使用檢查器對(duì)由于該檢查用電壓的施加而在芯片電容器中產(chǎn)生的電流的電流值進(jìn)行檢測(cè)，基于該檢測(cè)電流值和檢查用電壓的電壓值，進(jìn)行檢查對(duì)象的芯片電容器的靜電電容的測(cè)定。

即，上述的芯片電子部件的電特性的檢查裝置能夠稱(chēng)為包含以下部分的芯片電子部件電特性檢查裝置：在表面呈同心圓狀地形成有至少三列的透孔的列的芯片電子部件輸送圓盤(pán)、對(duì)該輸送圓盤(pán)以能夠進(jìn)行其間歇性的旋轉(zhuǎn)的方式在同心圓狀的透孔的列的中心進(jìn)行軸支承的基臺(tái)、以及在沿著該輸送圓盤(pán)的表面的位置分別配置的芯片電子部件供給收容部以及具備包含滾輪電極端子和固定電極端子的電極端子組的電特性檢查部。

當(dāng)在輸送圓盤(pán)中保持的芯片電子部件的檢查結(jié)束時(shí)，基于其檢查結(jié)果，實(shí)施分選（或分類(lèi)）的作業(yè)，以使使芯片電子部件從輸送圓盤(pán)的透孔排出而被收容于規(guī)定的容器。因此，在通常的芯片電子部件檢查裝置中進(jìn)一步附設(shè)有用于進(jìn)行檢查后的芯片電子部件的分選（或分類(lèi)）的芯片電子部件分類(lèi)部（分類(lèi)區(qū)域），被制品化為芯片電子部件電特性檢查分選裝置的情況較多。