[發明專利]一種大角度小偏移量窄帶濾光片及其制備方法在審
| 申請號： | 201710903724.0 | 申請日： | 2017-09-29 |
| 公開（公告）號： | CN107703576A | 公開（公告）日： | 2018-02-16 |
| 發明（設計）人： | 王英劍;范辛 | 申請（專利權）人： | 蘇州京浜光電科技股份有限公司 |
| 主分類號： | G02B5/28 | 分類號： | G02B5/28 |
| 代理公司： | 常州佰業騰飛專利代理事務所(普通合伙)32231 | 代理人： | 張宇 |
| 地址： | 215501 江蘇省蘇州*** | 國省代碼： | 江蘇;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 角度 偏移 窄帶 濾光 及其 制備 方法 | ||
【權利要求書】：
1.一種大角度小偏移量窄帶濾光片的制備方法，其特征在于，包括以下步驟：
(1)取K9玻璃或D263T玻璃為基底材料；
(2)在基底材料的一面交替蒸鍍Si和TiO2，膜層在60-68層之間，Si的厚度控制在50-350nm之間，TiO2的厚度控制在70-300nm之間，總厚度控制在6000-7000nm之間，蒸鍍方法是濺射鍍膜，加離子束輔助技術，在鍍Si層時，需充入氫氣，在鍍TiO2層時，需要充入氧氣；
(3)在基底的另一面采用常規的電子束加離子束蒸發技術，膜層在80-88層之間，采用的鍍膜材料為TiO2和SiO2，其中TiO2的厚度控制在30-150nm之間，SiO2的厚度控制在20-200nm之間，總厚度在6000-7000nm之間，在鍍膜過程中需要充入氬氣和氧氣。
2.一種大角度小偏移量窄帶濾光片，其特征在于，所述的濾光片由權利要求1所述的大角度小偏移量窄帶濾光片的制備方法制得。
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