[發(fā)明專利]一種基于超材料結(jié)構(gòu)的微波功率傳感器

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201710898026.6
• 申請(qǐng)日: 2017-09-28
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN107632193B
• 公開(kāi)（公告）日: 2019-05-07
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 韓磊
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 東南大學(xué)
• 主分類號(hào): G01R21/00
• 分類號(hào): G01R21/00
• 代理公司: 南京眾聯(lián)專利代理有限公司 32206
• 代理人: 周蔚然

1.一種基于超材料結(jié)構(gòu)的微波功率傳感器，其特征在于：包括基板（1）、輸入微帶信號(hào)線（2）、懸臂梁結(jié)構(gòu)輸入微帶信號(hào)線（3）、懸臂梁結(jié)構(gòu)輸出微帶信號(hào)線（4）、輸出微帶信號(hào)線（5）、懸臂梁結(jié)構(gòu)輸入微帶信號(hào)線（3）和懸臂梁結(jié)構(gòu)輸出微帶信號(hào)線（4）之間的叉指結(jié)構(gòu)（6）（7）、開(kāi)路短截線電感（8）（9）、微帶線地線（10）；所述微帶線地線（10）位于基板（1）的下表面，其余部分放置于基板（1）的上表面，輸入微帶信號(hào)線（2）與輸出微帶信號(hào)線（5）平行放置，懸臂梁結(jié)構(gòu)輸入微帶信號(hào)線（3）與懸臂梁結(jié)構(gòu)輸出微帶信號(hào)線（4）平行放置在基板上表面兩側(cè)，輸入微帶信號(hào)線（2）和輸出微帶信號(hào)線（5）分別與懸臂梁結(jié)構(gòu)輸入微帶信號(hào)線（3）和懸臂梁結(jié)構(gòu)輸出微帶信號(hào)線（4）連接，開(kāi)路短截線電感（8）（9）分別與輸入微帶信號(hào)線（2）和輸出微帶信號(hào)線（5）連接，叉指結(jié)構(gòu)（6）（7）分為兩組，叉指結(jié)構(gòu)（6）（7）相互平行、相互交錯(cuò)、懸空的放置于懸臂梁結(jié)構(gòu)輸入微帶信號(hào)線（3）與懸臂梁結(jié)構(gòu)輸出微帶信號(hào)線（4）之間，其中一組叉指結(jié)構(gòu)（6）與懸臂梁結(jié)構(gòu)輸入微帶信號(hào)線（3）連接，另一組叉指結(jié)構(gòu)（7）與懸臂梁結(jié)構(gòu)輸出微帶信號(hào)線（4）連接。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種基于超材料結(jié)構(gòu)的微波功率傳感器的使用方法，其特征在于：當(dāng)輸入的微波功率發(fā)生變化時(shí)，微波功率對(duì)相互平行、懸空的叉指結(jié)構(gòu)（6）（7）的吸引導(dǎo)致叉指結(jié)構(gòu)的位移，從而使得叉指結(jié)構(gòu)（6）（7）構(gòu)成的叉指電容發(fā)生變化，導(dǎo)致由叉指電容和開(kāi)路短截線電感（8）（9）構(gòu)成的超材料結(jié)構(gòu)產(chǎn)生相應(yīng)的相移輸出，通過(guò)檢測(cè)超材料結(jié)構(gòu)的相移，實(shí)現(xiàn)微波功率的測(cè)量。